EV?A10?2S（EBARA 荏原 空冷式多段羅茨干真空泵）產品詳情玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨直發

一、基本信息

• 型號：EV?A10?2S（標準單相 200V 版本）

• 廠商：日本 EBARA 荏原制作所

• 類型：空冷式多段羅茨干式真空泵（無油）

• 應用定位：中小腔體、潔凈工藝、重復大氣抽氣場景

二、核心性能參數（規格）

1. 真空性能

• 最大抽速：1,000 L/min（50Hz）

• 大氣壓下抽速：800 L/min

• 極限壓力（氣鎮關）：1.0 Pa

• 極限壓力（氣鎮開）：2.0–3.0 Pa

• 最大水蒸氣泵送能力：500 g/h（氣鎮開）

• 進氣壓力范圍：0～大氣壓

2. 電氣與能耗

• 電源：單相 200–240V / 50/60Hz（EV?A10?2S）

• 允許電壓波動：±10%

• 電源容量：3.0 kVA

• 極限壓力下功率：約 1.1 kW（比同級低約 20%）

• 電機：DC 電機 + 智能怠速 / 休眠

3. 機械與接口

• 進氣口：NW40（KF40）

• 排氣口：NW25（KF25）

• 材質：泵體鑄鐵 + 合金鋼，轉子涂層耐腐蝕

• 重量：約 72–75 kg

• 尺寸（長 × 寬 × 高）：約 560×320×450 mm

• 腳輪：標配 4 個可鎖定調平腳輪

4. 冷卻與噪音

• 冷卻方式：空冷（無需冷卻水）

• 噪音：≤58 dB(A)（@1m）

• 工作溫度：環境 5–40℃

三、結構與特點

1. 無油干泵設計

• 全程無油，無油污染、無返油，滿足高潔凈工藝（半導體、制藥凍干、無菌隔離器）

• 可處理輕微腐蝕性、含少量顆粒、易燃易爆氣體

2. 多段羅茨 + 空冷

• 多級羅茨轉子，抽氣平穩、極限真空高、耐水蒸氣

• 空冷結構，無需水冷 / 水管 / 冷卻塔，安裝極簡、無漏水風險

3. 智能控制與保護

• 內置故障診斷 / 過熱 / 過流 / 相序保護

• 支持遠程啟停 / 報警信號（可選）

• 維護周期長：無需換油，僅定期清潔過濾器

4. 高水汽處理

• 標配大氣鎮閥，500 g/h 水蒸氣能力，適合凍干、蒸餾、溶劑脫除

四、典型應用

• 半導體：Load?lock、SEM、PVD、分析儀器

• 制藥：凍干機、無菌隔離器、真空干燥

• 化工：小試 / 中試蒸餾、脫泡、溶劑回收

• 實驗室：電子顯微鏡、質譜、真空鍍膜、手套箱

五、型號后綴說明（便于選型）

• EV?A10?2S：單相 200V，標準型（國內常用）

• EV?A10?3S：三相 200V

• EV?A10?1S：單相 100V（日本本土）

六、優勢總結

• ? 無油潔凈：絕對無油污染，適配高潔凈工藝

• ? 空冷免水：無需冷卻水，安裝簡單、運維成本低

• ? 高效節能：1.1kW 低功耗，比同類省 20%+

• ? 高抽速 + 高真空：1000L/min、極限 1Pa，性能強勁

• ? 強耐水汽：500g/h，含水工況穩定

七、采購渠道

玉崎科學儀器（深圳）有限公司  原裝現貨供應

地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學

項目負責人：林經理