EV?A10?2S（EBARA 荏原 空冷式多段羅茨干真空泵）產(chǎn)品詳情玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨直發(fā)

一、基本信息

• 型號：EV?A10?2S（標(biāo)準(zhǔn)單相 200V 版本）

• 廠商：日本 EBARA 荏原制作所

• 類型：空冷式多段羅茨干式真空泵（無油）

• 應(yīng)用定位：中小腔體、潔凈工藝、重復(fù)大氣抽氣場景

二、核心性能參數(shù)（規(guī)格）

1. 真空性能

• 最大抽速：1,000 L/min（50Hz）

• 大氣壓下抽速：800 L/min

• 極限壓力（氣鎮(zhèn)關(guān)）：1.0 Pa

• 極限壓力（氣鎮(zhèn)開）：2.0–3.0 Pa

• 最大水蒸氣泵送能力：500 g/h（氣鎮(zhèn)開）

• 進(jìn)氣壓力范圍：0～大氣壓

2. 電氣與能耗

• 電源：單相 200–240V / 50/60Hz（EV?A10?2S）

• 允許電壓波動：±10%

• 電源容量：3.0 kVA

• 極限壓力下功率：約 1.1 kW（比同級低約 20%）

• 電機(jī)：DC 電機(jī) + 智能怠速 / 休眠

3. 機(jī)械與接口

• 進(jìn)氣口：NW40（KF40）

• 排氣口：NW25（KF25）

• 材質(zhì)：泵體鑄鐵 + 合金鋼，轉(zhuǎn)子涂層耐腐蝕

• 重量：約 72–75 kg

• 尺寸（長 × 寬 × 高）：約 560×320×450 mm

• 腳輪：標(biāo)配 4 個可鎖定調(diào)平腳輪

4. 冷卻與噪音

• 冷卻方式：空冷（無需冷卻水）

• 噪音：≤58 dB(A)（@1m）

• 工作溫度：環(huán)境 5–40℃

三、結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)

1. 無油干泵設(shè)計

• 全程無油，無油污染、無返油，滿足高潔凈工藝（半導(dǎo)體、制藥凍干、無菌隔離器）

• 可處理輕微腐蝕性、含少量顆粒、易燃易爆氣體

2. 多段羅茨 + 空冷

• 多級羅茨轉(zhuǎn)子，抽氣平穩(wěn)、極限真空高、耐水蒸氣

• 空冷結(jié)構(gòu)，無需水冷 / 水管 / 冷卻塔，安裝極簡、無漏水風(fēng)險

3. 智能控制與保護(hù)

• 內(nèi)置故障診斷 / 過熱 / 過流 / 相序保護(hù)

• 支持遠(yuǎn)程啟停 / 報警信號（可選）

• 維護(hù)周期長：無需換油，僅定期清潔過濾器

4. 高水汽處理

• 標(biāo)配大氣鎮(zhèn)閥，500 g/h 水蒸氣能力，適合凍干、蒸餾、溶劑脫除

四、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：Load?lock、SEM、PVD、分析儀器

• 制藥：凍干機(jī)、無菌隔離器、真空干燥

• 化工：小試 / 中試蒸餾、脫泡、溶劑回收

• 實(shí)驗(yàn)室：電子顯微鏡、質(zhì)譜、真空鍍膜、手套箱

五、型號后綴說明（便于選型）

• EV?A10?2S：單相 200V，標(biāo)準(zhǔn)型（國內(nèi)常用）

• EV?A10?3S：三相 200V

• EV?A10?1S：單相 100V（日本本土）

六、優(yōu)勢總結(jié)

• ? 無油潔凈：絕對無油污染，適配高潔凈工藝

• ? 空冷免水：無需冷卻水，安裝簡單、運(yùn)維成本低

• ? 高效節(jié)能：1.1kW 低功耗，比同類省 20%+

• ? 高抽速 + 高真空：1000L/min、極限 1Pa，性能強(qiáng)勁

• ? 強(qiáng)耐水汽：500g/h，含水工況穩(wěn)定

七、采購渠道

玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司  原裝現(xiàn)貨供應(yīng)

地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號電商集團(tuán)7樓整層玉崎科學(xué)

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理