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EBARA 日本荏原 EV-S 系列 多級(jí)羅茨干式真空泵玉崎科學(xué)儀器原裝現(xiàn)貨

更新時(shí)間:2026-06-04點(diǎn)擊次數(shù):98

EBARA 日本荏原 EV-S 系列 多級(jí)羅茨干式真空泵(原裝日本進(jìn)口?輕載節(jié)能款)


一、產(chǎn)品概述

EV-S 為無(wú)油多級(jí)羅茨干式真空泵,荏原主打輕制程、全風(fēng)冷、超低功耗機(jī)型,對(duì)標(biāo)腔體預(yù)抽、Load Lock、PVD / 鍍膜、LED、光伏、實(shí)驗(yàn)室潔凈工況;分標(biāo)準(zhǔn)版、P 氮?dú)獯祾呖睢 鎳基耐腐款,滿足潔凈→微量腐蝕氣體工況,全系列標(biāo)配風(fēng)冷、無(wú)需冷卻水,50/60Hz 電源抽速恒定不受頻率影響,通過(guò) SEMI-S2、CE、NRTL 半導(dǎo)體安全認(rèn)證。
定位區(qū)分:EV-S = 輕載羅茨(風(fēng)冷省電);EV-X = 中載螺桿(溫控耐腐);EV-M = 重載強(qiáng)腐蝕

二、全系列型號(hào) + 核心參數(shù)(主流 5 款)

機(jī)型抽速 (L/min/m3/h)極限真空 (Pa)額定功率進(jìn)氣口徑整機(jī)重量冷卻
EV-S201670/100≤3.00.45kWKF40/DN4062kg全風(fēng)冷
EV-S303300/198≤2.00.45kWDN4088kg全風(fēng)冷
EV-S505000/300≤0.50.55kWDN50142kg全風(fēng)冷
EV-S10010000/600≤0.52.2kWDN50175kg全風(fēng)冷
EV-S20020000/1200≤0.53.7kWDN65258kg風(fēng)冷 / 可選水冷

后綴含義

  • 基礎(chǔ)款(無(wú)后綴):泵腔鍍 Ni-P 化學(xué)鎳,潔凈無(wú)腐蝕氣體,無(wú)需氮?dú)獯祾?/span>,日常氮?dú)夂牧俊?、運(yùn)行成本低

  • P 款:內(nèi)置多路 N?氮?dú)夥创到涌冢乐顾⑽⒘糠蹓m凝結(jié),適配輕度腐蝕、含水蒸氣工藝

  • N 款:轉(zhuǎn)子 / 泵腔鎳基合金基材 + PTFE 特氟龍涂層,P+N 雙配置,弱酸、鹵素微量腐蝕工況專用

三、產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)

  1. 超低能耗(主打賣點(diǎn))

    搭載直流變頻電機(jī),空載休眠 / 怠速降功率,極限真空工況自動(dòng)降轉(zhuǎn)速,同抽速比傳統(tǒng)干泵省電 30%~45%;潔凈工藝不用持續(xù)通氮?dú)猓蠓档?N?用氣成本。

  2. 小型輕量化 + 全風(fēng)冷免水冷

    整機(jī)緊湊占地小,全系標(biāo)配內(nèi)置強(qiáng)制風(fēng)冷,不用外接冷卻水、不用配套冷水機(jī),設(shè)備機(jī)房布線簡(jiǎn)單、基建投入低。

  3. 運(yùn)行穩(wěn)定低噪

    非接觸羅茨轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),無(wú)磨損、振動(dòng)小,運(yùn)行噪音≤60dB (A),適合潔凈車間、實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

  4. 智能電控系統(tǒng)

    機(jī)身 LCD 可編程控制面板,集成溫度、過(guò)載、進(jìn)氣壓力、振動(dòng)傳感器,故障預(yù)警、運(yùn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ);標(biāo)配 Modbus-RTU 通訊,可對(duì)接產(chǎn)線 PLC 遠(yuǎn)程聯(lián)控啟停、數(shù)據(jù)采集。

  5. 材質(zhì)靈活選配

    標(biāo)準(zhǔn)鍍鎳、鎳基合金、特氟龍防腐三層方案,從輕潔凈→微腐蝕全工況覆蓋。

四、結(jié)構(gòu)與原理

  • 泵型:多級(jí)串聯(lián)羅茨轉(zhuǎn)子、無(wú)油干式壓縮,腔體全程無(wú)潤(rùn)滑油,真空無(wú)油污染、潔凈度高;轉(zhuǎn)子間隙精密優(yōu)化,大氣壓直抽高真空,不用前級(jí)泵串聯(lián)。

  • 標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì):轉(zhuǎn)子球墨鑄鐵 + Ni-P 鍍鎳;N 防腐款:鎳基合金 + 內(nèi)腔 PFA/PTFE 涂層,耐 HF、HCl 微量酸性氣體。

五、選配配件

  1. 氮?dú)獯祾呖偝桑≒/N 機(jī)型標(biāo)配)、氣鎮(zhèn)閥(提升含水蒸氣工況排水能力)

  2. 排氣消音器、粉塵捕集罐、冷凝回收罐

  3. 變頻調(diào)速模塊、遠(yuǎn)程控制柜、排氣油霧過(guò)濾器

六、應(yīng)用行業(yè)(選型指引)

1、EV-S20/S30(小抽速)

Load Lock 腔體預(yù)抽、SEM 電鏡、質(zhì)譜儀器、小型 PVD 濺射、實(shí)驗(yàn)室鍍膜、半導(dǎo)體設(shè)備鎖倉(cāng)、鋰電小型封裝脫泡。

2、EV-S50/S100(主力爆款)

LED 芯片制程、光伏小片鍍膜、光學(xué)薄膜蒸鍍、中小型 PVD、液晶面板真空腔體、晶圓傳送腔預(yù)抽。

3、EV-S200(大抽速)

量產(chǎn)線集中預(yù)抽系統(tǒng)、中大腔體鍍膜、光伏整線真空、中小型 CVD 潔凈制程。
?選型區(qū)分:潔凈無(wú)水汽→基礎(chǔ)款;含水汽微量粉塵→P 款;含弱酸 / 鹵素氣體→N 款


七、 采購(gòu)渠道

玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司  原裝現(xiàn)貨供應(yīng)

地址:廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號(hào)電商集團(tuán)7樓整層玉崎科學(xué)

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人:林經(jīng)理



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