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EBARA 荏原 AA100W 風冷干式螺桿真空泵產品全詳情玉科原裝現貨
更新時間：2026-06-05
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EBARA 荏原 AA100W 風冷干式螺桿真空泵｜產品全詳情
一、產品基礎概述
品牌：日本荏原 EBARA｜系列：AA 單級風冷螺桿干泵｜型號：AA100W無油干式螺桿結構、全風冷無需冷卻水，半導體 / 光伏 / 實驗室通用中型干泵，替代油旋片泵，潔凈無油蒸氣污染。
工作原理
一對高精度螺旋轉子無接觸反向嚙合，泵腔無潤滑油密封，間隙精密控壓；氣體從入口吸入→轉子容積壓縮→直排大氣，壓縮熱量靠機身散熱 + 頂部風冷風扇散熱。
二、核心技術參數
| 參數項目 | 規格數值 |
|---|---|
| 標稱抽速 (50Hz) | 100m3/h=1670L/min |
| 標稱抽速 (60Hz) | 120m3/h=2000L/min |
| 極限真空 (空載) | ≤2.0Pa（2×10?2mbar） |
| 電機功率 | 2.2~3.0kW，三相 200/220V 50/60Hz |
| 冷卻方式 | 強制風冷（整機無需外接冷卻水） |
| 噪音 | 69~73dB(A) |
| 整機重量 | ≈115kg |
| 進氣法蘭 | DN40/DN50 標準真空法蘭 |
| 排氣 | 常壓直排 |
三、機型細分選配版本
AA100W（標準版）：鑄鐵泵體，常規惰性氣體、潔凈工藝
AA100W-CR 耐腐蝕版：螺桿 / 泵體內壁耐酸堿涂層，適配微量腐蝕性工藝氣體（蝕刻、CVD 尾氣）
AA100W-HT 高溫型：泵體伴熱，防粉體、溶劑冷凝結塊
四、產品核心優勢
全風冷免水冷：現場不用鋪設水路，安裝簡單，節省配套成本
全干式無油：無回油污染，適配半導體潔凈制程，優于油式真空泵
低維護：轉子無摩擦損耗，日常僅更換空濾、密封件，保養周期 8000~10000h
自帶電控面板：電流、泵溫、故障報警、啟停聯鎖，支持 PLC 遠程觸點控制
緊湊型機身：占地小，設備機臺內置安裝友好
五、主流應用領域
半導體行業：LoadLock 預抽、小型蝕刻機腔體粗抽、CVD 前級真空、離子注入輔抽
光伏 / LED：PECVD 鍍膜粗抽、電池片邊緣干法蝕刻
FPD 面板：小型 OLED/LCD 濺射腔體預抽
科研儀器：SEM/TEM 電鏡前級泵、質譜 / XPS 表面分析、實驗室真空鍍膜
通用工業：真空脫泡、真空封裝、小型熱處理爐抽真空.
六、采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
