EBARA 荏原 EST25N（高溫防腐螺桿干式真空泵）

? 定位與用途

• 核心定位：處理高粉塵、強酸 / 鹵素、大量固態副產物的重載真空制程。

• 典型場景：半導體 CVD/ALD/ 蝕刻 / 擴散、光伏、LED、化工反應釜。

• 設計關鍵：泵體主動控溫（高溫運行），防止副產物（如 NH?Cl）冷凝結塊，抗堵、長壽命。

? 核心參數（EST25N）

• 抽氣速度：2,500 L/min（50/60Hz 不變）

• 極限真空：0.4 Pa

• 額定功率：3.0 kW

• 重量：約 180 kg

• 冷卻方式：全水冷，流量 5–8 L/min（進水≤30℃）

• 進氣法蘭：NW40

• 材質：標準鎳合金 / 鎳涂層，強防腐

• 認證：SEMI?S2、CE、NRTL（半導體安全級）

? 荏原干泵產品線區別（快速分清）

• EV?S：風冷羅茨 → 潔凈、輕載、低腐蝕

• EV?X：中小型螺桿 → 通用、中腐蝕

• EV?M：水冷羅茨 → 富氫、重載

• EST：水冷螺桿 + 高溫恒溫 + 強防腐 → EST25N 屬于此系列，重制程

? 特點總結

• ? 高溫防堵：泵內恒溫，副產物不冷凝、不沉積

• ? 強耐腐蝕：鎳基合金 + 涂層，耐受 Cl?、HCl、HF 等

• ? 大抽速 + 高真空：2500 L/min、0.4 Pa，適合大腔體 / 快速抽氣

• ? 電源通用：50/60Hz 抽速不變，全球適用

• ? 智能控制：LCD 面板、預警 / 報警存儲、可編程

一句話：EST25N = 荏原 2.5m3/min 級、半導體 CVD 用高溫防腐干式真空泵。

采購渠道

玉崎科學儀器（深圳）有限公司  原裝現貨供應

地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學

項目負責人：林經理