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更新時間:2026-07-27
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型號后綴含義:S = 單相電源規格;同系列 CR60B-T 為三相款(二者抽速一致的,極限真空、供電不同,不可直接互換)
工作原理:多級三葉羅茨非接觸式壓縮結構,泵腔內部無真空油,輸出潔凈真空;整機強制風冷,無需冷卻水、無需軸封氮氣供給,安裝基建成本低。
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 50Hz 抽速 | 55 m3/h(920 L/min) |
| 極限真空(無氣鎮) | ≤3.0 Pa |
| 極限真空(開啟氣鎮) | ≤6.0 Pa |
| 電機 | 1.5kW 永磁 DC 密封電機 |
| 穩態功耗(極限真空) | 0.9 kW |
| 供電規格 | 單相 AC200~240V 50/60Hz ??重點區分 CR60B-T 三相款 |
| 吸氣 / 排氣法蘭 | KF40 |
| 最大容許水蒸氣處理量 | ≤500 g/h(必須開啟氣鎮閥) |
| 整機尺寸 | 550(L) × 210(W) × 430(H) mm |
| 整機重量 | 48 kg |
| 噪音 | 約 65 dB (A)(距離 1m) |
| 潤滑油 | BARRIERTA J100F E,加注量 140cc(僅齒輪箱潤滑,不接觸真空腔) |
| 標準配置 | 進氣過濾器、氣鎮閥、移動腳輪、遠程通訊接口 |
| 認證 | CE、cTUVus |
| 型號 | 供電 | 無氣鎮極限真空 | 適用場景 |
|---|---|---|---|
| CR60B-S | 單相 200V | ≤3.0 Pa | 實驗室設備、小型量產設備、現場僅有單相電源 |
| CR60B-T | 三相 200V | ≤0.5 Pa | 連續量產鍍膜、高精度真空工藝 |
外形、管路接口、抽速一致,電源與極限真空是核心差異,采購務必確認供電條件。
真空鍍膜:濺射、真空蒸發設備分子泵前級粗抽泵
真空干燥、脫泡、小型腔體負壓工藝
等離子清洗、材料表面處理設備
分析儀器、半導體中小型真空工位
MEMS、傳感器封裝制程配套真空機組
適用氣體:僅限潔凈空氣、氮氣等惰性氣體;禁止抽吸鹵素、強酸、大量粉塵、硅蒸汽,易造成轉子磨損腐蝕;腐蝕性工況請選用 ULVAC HR 系列防腐干泵。
抽吸水汽時,必須持續打開氣鎮閥,防止水汽凝結在齒輪箱。
常規維護周期:
進氣過濾器:根據粉塵情況定期清潔 / 更換
齒輪箱潤滑油:建議 8000 小時更換
啟動條件:可直接大氣壓啟動,不需要前置初級泵。
六、 采購渠道
玉崎科學儀器(深圳)有限公司 原裝現貨供應
地址:廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人:林經理