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ULVAC 愛發科 DIS-90 渦旋干式真空泵 產品介紹 玉崎科學儀器原裝現貨
更新時間：2026-07-28
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ULVAC 愛發科 DIS-90 渦旋干式真空泵 產品介紹 玉崎科學儀器原裝現貨
一、基礎概述
品牌型號：ULVAC（日本愛發科）DIS-90泵類型：雙繞式渦旋干式真空泵（無油干泵）采用一級動渦旋 + 兩級定渦旋復合渦旋結構；動、靜渦旋盤非接觸運轉，泵腔內部無潤滑油，屬于潔凈型干式機械泵；可直接從大氣壓啟動，常作為分子泵前級泵，是實驗室、精密設備小型真空主力干泵。
二、核心技術規格
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 抽氣速度 | 50Hz：90 L/min；60Hz：108 L/min |
| 極限壓力 | ≤5 Pa |
| 電機規格 | 單相 100/115/200/230V，150W，4 極電容啟動 |
| 吸氣接口 | KF25 |
| 排氣接口 | KF16 |
| 外形尺寸 | 214(W)×308(L)×225(H) mm |
| 整機重量 | 14 kg |
| 冷卻方式 | 風冷（無需冷卻水） |
| 噪音 | ≤52dB（開啟空氣沖洗 AF）；≤57dB（關閉 AF） |
| 環境溫度 | 5～40℃，室內使用 |
| 標配功能 | 內置運行計時表、自動復位熱保護器、Air Flush 空氣吹掃接口（Rc1/8） |
| RoHS 認證 | 支持 |
三、工作原理
偏心驅動軸帶動動渦旋盤做圓周平動，與固定渦旋盤形成連續變化的密閉壓縮腔；氣體由外周吸入，逐級向中心壓縮排出；無油、無金屬摩擦接觸，不產生油霧污染，獲得潔凈真空。
四、產品核心特點
? 無油潔凈真空泵腔不含潤滑油，無返油風險，不會污染腔體、樣品、光學元件，優于油旋片泵。? 風冷小型化，安裝靈活無需水冷，體積小巧、自帶提手，便于設備內置集成、實驗室移動使用。? 低振動、低噪音渦旋運轉平穩，振動遠小于活塞式干泵（DOP 系列），適合精密分析儀器。? 自帶空氣吹掃（AF）功能通入少量干燥空氣吹掃泵腔，抑制水汽凝結，輕微提升耐水汽能力。? 運維可視化標配運行小時計，便于記錄時長、規劃密封件保養周期；內置過熱保護。? 大氣壓可連續啟動寬壓力區間穩定運行，可直接作為分子泵（TMP）標準前級泵。
五、典型應用場景
分析儀器：氦氣檢漏儀、質譜儀、SEM 掃描電鏡、表面分析設備前級泵
光學 / 半導體小型設備：小型鍍膜、Load-Lock 預抽、晶圓小型真空載臺
實驗室真空：小型真空腔體、樣品脫氣、真空干燥、氣體回收系統
通用精密設備：小型等離子設備、科研真空實驗裝置
六、重要使用注意事項
工況限制
不可抽吸大量粉塵、有機溶劑蒸汽、強酸、鹵素、液態水；僅允許微量水汽，長時間含水工況必須持續開啟空氣吹掃。
進氣建議
進氣前端務必加裝粉塵過濾器，固體顆粒會刮傷渦旋密封面，造成極限真空惡化。
對比選型參考
DIS-90：渦旋干泵，極限真空 5Pa，低噪潔凈，適合分子泵前級、精密儀器；
DOP-301SB：搖動活塞干泵，抽速更大、極限真空僅數千 Pa，適合粗真空吸附；
LS120A：螺桿干泵，大抽速、水冷，面向工藝腔體。
七、 采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
