當(dāng)前位置：
ULVAC 愛發(fā)科 DIS-90 渦旋干式真空泵 產(chǎn)品介紹 玉崎科學(xué)儀器原裝現(xiàn)貨
更新時(shí)間：2026-07-28
點(diǎn)擊次數(shù)：120
ULVAC 愛發(fā)科 DIS-90 渦旋干式真空泵 產(chǎn)品介紹 玉崎科學(xué)儀器原裝現(xiàn)貨
一、基礎(chǔ)概述
品牌型號：ULVAC（日本愛發(fā)科）DIS-90泵類型：雙繞式渦旋干式真空泵（無油干泵）采用一級動(dòng)渦旋 + 兩級定渦旋復(fù)合渦旋結(jié)構(gòu)；動(dòng)、靜渦旋盤非接觸運(yùn)轉(zhuǎn)，泵腔內(nèi)部無潤滑油，屬于潔凈型干式機(jī)械泵；可直接從大氣壓啟動(dòng)，常作為分子泵前級泵，是實(shí)驗(yàn)室、精密設(shè)備小型真空主力干泵。
二、核心技術(shù)規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 抽氣速度 | 50Hz：90 L/min；60Hz：108 L/min |
| 極限壓力 | ≤5 Pa |
| 電機(jī)規(guī)格 | 單相 100/115/200/230V，150W，4 極電容啟動(dòng) |
| 吸氣接口 | KF25 |
| 排氣接口 | KF16 |
| 外形尺寸 | 214(W)×308(L)×225(H) mm |
| 整機(jī)重量 | 14 kg |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷（無需冷卻水） |
| 噪音 | ≤52dB（開啟空氣沖洗 AF）；≤57dB（關(guān)閉 AF） |
| 環(huán)境溫度 | 5～40℃，室內(nèi)使用 |
| 標(biāo)配功能 | 內(nèi)置運(yùn)行計(jì)時(shí)表、自動(dòng)復(fù)位熱保護(hù)器、Air Flush 空氣吹掃接口（Rc1/8） |
| RoHS 認(rèn)證 | 支持 |
三、工作原理
偏心驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)動(dòng)渦旋盤做圓周平動(dòng)，與固定渦旋盤形成連續(xù)變化的密閉壓縮腔；氣體由外周吸入，逐級向中心壓縮排出；無油、無金屬摩擦接觸，不產(chǎn)生油霧污染，獲得潔凈真空。
四、產(chǎn)品核心特點(diǎn)
? 無油潔凈真空泵腔不含潤滑油，無返油風(fēng)險(xiǎn)，不會污染腔體、樣品、光學(xué)元件，優(yōu)于油旋片泵。? 風(fēng)冷小型化，安裝靈活無需水冷，體積小巧、自帶提手，便于設(shè)備內(nèi)置集成、實(shí)驗(yàn)室移動(dòng)使用。? 低振動(dòng)、低噪音渦旋運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動(dòng)遠(yuǎn)小于活塞式干泵（DOP 系列），適合精密分析儀器。? 自帶空氣吹掃（AF）功能通入少量干燥空氣吹掃泵腔，抑制水汽凝結(jié)，輕微提升耐水汽能力。? 運(yùn)維可視化標(biāo)配運(yùn)行小時(shí)計(jì)，便于記錄時(shí)長、規(guī)劃密封件保養(yǎng)周期；內(nèi)置過熱保護(hù)。? 大氣壓可連續(xù)啟動(dòng)寬壓力區(qū)間穩(wěn)定運(yùn)行，可直接作為分子泵（TMP）標(biāo)準(zhǔn)前級泵。
五、典型應(yīng)用場景
分析儀器：氦氣檢漏儀、質(zhì)譜儀、SEM 掃描電鏡、表面分析設(shè)備前級泵
光學(xué) / 半導(dǎo)體小型設(shè)備：小型鍍膜、Load-Lock 預(yù)抽、晶圓小型真空載臺
實(shí)驗(yàn)室真空：小型真空腔體、樣品脫氣、真空干燥、氣體回收系統(tǒng)
通用精密設(shè)備：小型等離子設(shè)備、科研真空實(shí)驗(yàn)裝置
六、重要使用注意事項(xiàng)
工況限制
不可抽吸大量粉塵、有機(jī)溶劑蒸汽、強(qiáng)酸、鹵素、液態(tài)水；僅允許微量水汽，長時(shí)間含水工況必須持續(xù)開啟空氣吹掃。
進(jìn)氣建議
進(jìn)氣前端務(wù)必加裝粉塵過濾器，固體顆粒會刮傷渦旋密封面，造成極限真空惡化。
對比選型參考
DIS-90：渦旋干泵，極限真空 5Pa，低噪潔凈，適合分子泵前級、精密儀器；
DOP-301SB：搖動(dòng)活塞干泵，抽速更大、極限真空僅數(shù)千 Pa，適合粗真空吸附；
LS120A：螺桿干泵，大抽速、水冷，面向工藝腔體。
七、 采購渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號電商集團(tuán)7樓整層玉崎科學(xué)
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理
