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ULVAC 愛發科 DIS-252 雙繞式渦旋干式真空泵 產品介紹 玉崎科學儀器原裝
更新時間：2026-07-28
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ULVAC 愛發科 DIS-252 雙繞式渦旋干式真空泵 產品介紹 玉崎科學儀器原裝現貨
一、基礎概述
品牌型號：ULVAC（日本愛發科）DIS-252機型類別：無油渦旋干式真空泵（雙繞式結構：1 動渦盤 + 2 定渦盤）DIS 系列潔凈干泵，泵腔無潤滑油；風冷型，無需冷卻水；大氣壓可直接啟動，廣泛用作分子泵前級泵、精密儀器真空主機。
二、核心技術參數
| 項目 | 規格參數 |
|---|---|
| 抽氣速度 | 50Hz：250 L/min；60Hz：300 L/min |
| 極限壓力 | ≤1.6 Pa |
| 電機功率 | 400W |
| 供電規格 | 單相 100/200V ｜三相 200/230V（機型區分） |
| 進氣接口 | KF25 |
| 排氣接口 | KF16 |
| 外形尺寸 | 264(W) × 397(L) × 338(H) mm |
| 整機重量 | 25 kg |
| 冷卻方式 | 風冷（自然冷卻） |
| 噪音 | ≤52 dB(A) |
| 標配配置 | 運行計時表、自動復位熱保護器、Air Flush（AF 空氣吹掃接口） |
| 環境條件 | 5～40℃室內使用 |
| 認證 | CE、RoHS、cTUVus |
三、工作原理
偏心主軸驅動動渦旋盤做圓周平動，與兩組固定渦旋盤形成連續變化的密閉氣室；氣體由外周吸入，逐級向中心壓縮排出。動、靜渦盤無金屬直接摩擦，泵體內無潤滑油，實現潔凈無油真空。
四、產品核心特點
? 無油潔凈真空無油霧返流，不會污染腔體、樣品、光學元件，優于油旋片泵。? 極限真空優秀極限 1.6Pa，高于 DIS-90（5Pa），預抽速度更快，適配中真空需求。? 風冷免水冷無需配套冷卻水，布線安裝簡單，方便設備內置集成。? 低振動、低噪音運行平穩，適合實驗室、精密檢測設備、無塵車間。? AF 空氣吹掃功能通入干燥氮氣 / 潔凈空氣吹掃泵腔，抑制水汽凝結，小幅提升耐水汽能力。? 運維可視化自帶運行小時計，方便記錄運行時長，規劃密封件保養周期；內置過熱保護。
五、典型應用場景
精密分析儀器：氦質譜檢漏儀、SEM 掃描電鏡、質譜設備、表面分析儀（分子泵前級泵）
半導體 / 光學小型設備：小型鍍膜機、Load-Lock 真空鎖倉、晶圓載臺預抽
科研實驗室：小型真空腔體、樣品脫氣、真空干燥、氣體回收裝置
小型等離子設備、精密真空測試系統
六、重要使用注意事項
工況限制
嚴禁抽吸大量粉塵、液態水、有機溶劑蒸汽、鹵素、腐蝕性氣體；僅可承受微量水汽，含水工況必須持續開啟 AF 吹掃。
進氣前端建議加裝粉塵過濾器，固體顆粒會刮傷渦旋密封面，造成真空性能衰減。
屬于干式真空泵，禁止加注任何真空油（SMR-100 等油品不能使用）。
七、 采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
