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ULVAC 愛發科 DIS-501 雙繞式渦旋干式真空泵 產品介紹玉崎科學原裝現貨
更新時間：2026-07-28
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ULVAC 愛發科 DIS-501 雙繞式渦旋干式真空泵 產品介紹玉崎科學原裝現貨
一、基礎概述
品牌型號：ULVAC（日本愛發科）DIS-501泵類型：雙繞式渦旋干式真空泵（無油干泵）結構：1 組動渦旋盤 + 2 組固定渦旋盤兩級壓縮；泵腔無潤滑油，風冷機型，大氣壓可直接啟動，是 DIS 系列大流量主力機型，常作為分子泵（TMP）前級泵。
二、核心技術參數
| 項目 | 規格參數 |
|---|---|
| 設計抽速 | 50Hz：500 L/min；60Hz：600 L/min |
| 極限壓力 | ≤1.0 Pa |
| 電機功率 | 600W，4 極 |
| 供電版本 | 單相：100/115/200/230V三相：200～460V 寬電壓 |
| 吸氣接口 | KF40 |
| 排氣接口 | KF25 |
| 整機重量 | 單相機型：44 kg；三相機型：38 kg |
| 外形尺寸（單相） | 290(W) × 443(L) × 397(H) mm |
| 冷卻方式 | 風冷（無需冷卻水） |
| 噪音 | 單相≤62dB (A)；三相≤60dB (A) |
| 標配配置 | 運行計時表、自動復位熱保護器、AF 空氣吹掃接口 |
| 環境條件 | 5～40℃室內干燥環境 |
| 水蒸氣耐受 | AF 開啟工況下≤25g / 天（僅微量水汽） |
| 認證 | CE、cTUVus、RoHS |
三、工作原理
偏心主軸驅動動渦旋盤做圓周平動，與兩組定渦旋盤形成連續變化的密閉氣室；氣體由外圈吸入，逐級向中心壓縮排出；動靜渦盤無金屬摩擦接觸，泵內無潤滑油，輸出潔凈真空。
四、產品核心特點
? 無油潔凈真空，無油霧返流，不會污染腔體、樣品、光學元器件，優于油旋片泵? DIS 系列最大抽速機型，極限真空 1.0Pa，大腔體預抽速度快? 風冷設計，無需配套冷卻水，設備集成布線簡單? 低振動、低噪音，運行平穩，適配無塵車間、實驗室精密設備? AF 空氣吹掃功能，通入干燥潔凈空氣，抑制泵腔水汽凝結? 自帶運行小時計，方便管理密封件保養周期；內置過熱保護? 標準 KF 真空法蘭，管路配套通用性強
五、典型應用場景
高真空系統：分子泵機組前級泵、氦質譜檢漏儀配套
半導體 / 光學設備：Load-Lock 真空鎖倉、小型鍍膜、基板真空載臺
科研分析儀器：SEM、質譜、表面分析設備、樣品脫氣裝置
真空工藝：小型真空腔體預抽、氣體回收、低溫真空干燥
六、重要使用注意事項
嚴禁抽吸大量粉塵、液態水、有機溶劑蒸汽、鹵素、腐蝕性氣體；僅允許微量水汽，含水工況必須持續開啟 AF 吹掃；
進氣前端務必加裝粉塵過濾器，固體顆粒會刮傷渦旋密封面，降低真空性能；
干式真空泵，禁止加注 SMR-100 等任何真空潤滑油；
不可長期在高水汽、高粉塵惡劣工況連續運行。
七、 采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
