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MIYUKI美幸輝GAR?J300B JIS DN300電動伺服閘板式真空調(diào)節(jié)閥半導(dǎo)體工藝專用
更新時間：2026-08-27
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MIYUKI 美幸輝 GAR?J300B｜JIS DN300 電動伺服閘板式真空調(diào)節(jié)閥（斷電鎖止?半導(dǎo)體工藝專用）
原裝現(xiàn)貨供應(yīng)：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司品牌負責人：林經(jīng)理地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
型號釋義
GAR：升降閘板式電動伺服調(diào)節(jié)閥，低顆粒無摩擦流道，性能優(yōu)于 BAR 蝶板式系列
J：JIS B2290 日標法蘭
300：公稱通徑 DN300（300A）
B：內(nèi)置電磁抱閘剎車，斷電鎖止當前閥位，不會直接全關(guān)，規(guī)避晶圓批量報廢風(fēng)險
可定制：ISO?F、CF 刀口法蘭；可升級 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封適配等離子腐蝕工況。
結(jié)構(gòu)與工作原理
伺服直驅(qū)閘板式結(jié)構(gòu)，零背隙
伺服電機直驅(qū)升降閘板，無齒輪傳動間隙；全開閘板撤離流道，流阻極低；啟閉無金屬滑動摩擦副，大程度降低顆粒生成，滿足 SEMI 半導(dǎo)體潔凈要求；微小開度調(diào)節(jié)穩(wěn)定性優(yōu)異，閥位重復(fù)定位精度高。
?B 電磁抱閘斷電鎖止（核心安全特性）
斷電瞬間電磁剎車鎖死閘板，保持斷電前原有開度，不會直接關(guān)閉管路，避免工藝壓力突變造成整片晶圓報廢；可按需定制斷電強制全關(guān)版本，適配產(chǎn)線聯(lián)鎖邏輯。
信號接口：0?10V /4?20mA 模擬量、閥位反饋輸出、RS485 通訊；搭配MGCS?11 真空壓力控制器組成 PID 閉環(huán)控制系統(tǒng)。
裝配檢測：百級潔凈室組裝，每臺氦質(zhì)譜檢漏出廠；無流向限制，水平、垂直任意角度可安裝。
??注意：閥體支持烘烤除氣；伺服電機驅(qū)動頭部環(huán)境溫度≤40℃，嚴禁烘烤電機組件。
完整技術(shù)參數(shù)
| 項目 | GAR?J300B JIS DN300 參數(shù) |
|---|---|
| 公稱通徑 | DN300（300A），JIS B2290 法蘭 |
| 工作壓力區(qū)間 | 1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內(nèi)漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅(qū)動供電 | DC24V 伺服電機直驅(qū)，?B 電磁抱閘斷電鎖止閥位 |
| 開度調(diào)節(jié) | 0?100% 全行程連續(xù)無級調(diào)節(jié)，閥位反饋輸出 |
| 過流材質(zhì) | 閥體、閘板 SUS304，內(nèi)腔鏡面電解拋光 EP，低放氣、低顆粒析出 |
| 標準密封 | FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚抗等離子腐蝕密封 |
| 烘烤溫度 | 閥體最高 150℃；伺服電機頭部≤40℃，不可烘烤 |
| 機械壽命 | ≥100 萬次循環(huán)，低震動低噪音 |
| 電氣信號 | 0?10V/4?20mA 模擬量；RS485 通訊；全開全關(guān)到位信號輸出 |
| 配套控制器 | MGCS?11（半導(dǎo)體產(chǎn)線主力）、MG?mini485、MS?VP |
半導(dǎo)體典型應(yīng)用場景
- 8/12 寸量產(chǎn) ICP/CCP 刻蝕大型腔體主抽調(diào)壓搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規(guī) PID 閉環(huán)，穩(wěn)定等離子工藝壓力；斷電抱閘鎖止閥位，杜絕斷電壓力波動導(dǎo)致晶圓報廢；閘板式低顆粒結(jié)構(gòu)，適配成熟及先進制程量產(chǎn)線。
- 大型 PVD 磁控濺射、CVD、ALD 薄膜沉積設(shè)備大口徑工藝腔體排氣節(jié)流；MGCS?11 可存儲多組 PID 參數(shù)，適配循環(huán)薄膜工藝；選用 Kalrez 密封抵抗鹵素等離子腐蝕，延長閥門壽命。
- 半導(dǎo)體中試大型腔體、離子注入、大型去膠腔體大流量排氣工況，工藝不允許失電直接切斷管路，需要斷電保持閥位安全機制。
選型邊界：
GAR?J300B（電動閘板?B 抱閘）：半導(dǎo)體量產(chǎn)產(chǎn)線，斷電需保持閥位優(yōu)先選用；
G?J300（氣動伺服蝶閥）：鋰電、光伏、鍍膜設(shè)備，氣源充足，允許失氣彈簧全關(guān)，成本更優(yōu)。
標準閉環(huán)控制成套方案
選型區(qū)分（GAR?J300B VS G?J300）
| 項目 | GAR?J300B（電動伺服閘板） | G?J300（氣動伺服蝶閥） |
|---|---|---|
| 驅(qū)動 | DC24V 伺服電機直驅(qū)，?B 電磁抱閘 | 0.4?0.6MPa 壓縮空氣驅(qū)動，無電機 |
| 斷電 / 失氣狀態(tài) | 斷電抱閘保持當前開度 | 失氣彈簧直接全關(guān)，開度丟失 |
| 結(jié)構(gòu) | 閘板式，全開閘板退出流道，極低發(fā)塵顆粒 | 蝶板式，蝶板滯留流道內(nèi) |
| 適用定位 | 半導(dǎo)體量產(chǎn)刻蝕、CVD、ALD 產(chǎn)線 | 鋰電、光伏、鍍膜、中試設(shè)備 |
| 布線 | 需要 DC24V 供電 + 信號線纜 | 僅需壓縮空氣氣源 |
供貨與選型提示
供貨狀態(tài)：GAR?J300B 屬于半導(dǎo)體大口徑特種伺服閥，國內(nèi)基本無現(xiàn)貨，日本原廠訂貨；可提供原廠規(guī)格書、氦檢報告、CE 證書；支持 Kalrez 密封定制。
選型避坑：不可與開關(guān)閘閥 GH?J300 混淆；GH?J300 僅開關(guān)功能，無開度調(diào)節(jié)，無法實現(xiàn)閉環(huán)壓力控制。
提示：市場存在翻新二手閥，采購務(wù)必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。
