MIYUKI 美幸輝 BAR?J100｜JIS DN100 經(jīng)濟(jì)型電動(dòng)伺服蝶閥（鍍膜 / 鋰電常規(guī)工藝）

原裝現(xiàn)貨供應(yīng)：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司品牌負(fù)責(zé)人林經(jīng)理 詳細(xì)辦公地址（廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號(hào)電商集團(tuán) 7 樓整層）

型號(hào)釋義

• BAR：蝶板式電動(dòng)伺服真空調(diào)節(jié)閥（經(jīng)濟(jì)型，蝶板置于流道內(nèi)；對(duì)比 GAR 升降閘板式）

• J：JIS B2290 日標(biāo)法蘭

• 100：公稱(chēng)通徑 DN100（100A）

• ?B（可選）：選配電磁抱閘，斷電鎖止閥位；標(biāo)準(zhǔn)款無(wú)抱閘，斷電閥位自由浮動(dòng)

可定制：ISO?F、KF、CF 刀口法蘭；密封可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚適配等離子腐蝕工況。

結(jié)構(gòu)與工作原理

1. 伺服直驅(qū)蝶板式結(jié)構(gòu)

   DC24V 伺服電機(jī)直驅(qū)蝶板，無(wú)齒輪間隙，0?90° 角度連續(xù)可調(diào)；蝶板始終處于氣流通道內(nèi)部；結(jié)構(gòu)緊湊，整機(jī)體積小，成本優(yōu)于 GAR 閘閥系列；減少滑動(dòng)摩擦部件，顆?？刂茲M(mǎn)足工業(yè)常規(guī)工藝，不及 GAR 閘板等級(jí)。

2. 抱閘選項(xiàng)說(shuō)明

• 標(biāo)準(zhǔn) BAR?J100：無(wú)電磁抱閘，斷電閥位自由浮動(dòng)，不鎖止；

• BAR?J100?B：選配內(nèi)置電磁抱閘，斷電鎖止當(dāng)前開(kāi)度，防止壓力突變，適合不能允許閥位漂移的產(chǎn)線。

1. 信號(hào)接口：0?10V /4?20mA 模擬量、閥位反饋輸出、RS485 通訊；搭配MGCS?11 真空控制器組成 PID 閉環(huán)壓力控制系統(tǒng)。

2. 裝配檢測(cè)：百級(jí)潔凈室裝配，逐臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏出廠；無(wú)流向限制，水平、垂直任意角度可安裝。

??閥體支持烘烤除氣；伺服電機(jī)頭部環(huán)境溫度≤40℃，嚴(yán)禁烘烤電機(jī)組件。

完整技術(shù)參數(shù)

典型應(yīng)用場(chǎng)景（鍍膜 / 鋰電常規(guī)工藝）

1. 工業(yè) PVD 磁控濺射、光學(xué)鍍膜腔體

   搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規(guī) PID 閉環(huán)，穩(wěn)定常規(guī)鍍膜工藝壓力；適合面板、普通光學(xué)鍍膜，對(duì)顆粒要求不是最嚴(yán)苛的工況；相比 GAR 閘閥，降低設(shè)備采購(gòu)成本。

??8/12 寸半導(dǎo)體先進(jìn)制程量產(chǎn)，極低顆粒要求，優(yōu)先選用GAR?J100B 閘板式伺服閥。

1. 鋰電真空脫氣、鋰電烘烤量產(chǎn)腔體中等腔體排氣節(jié)流調(diào)壓，穩(wěn)定真空工藝壓力；選配?B 抱閘版本，斷電鎖止閥位，保護(hù)鋰電極片避免大氣倒灌氧化。
2. 中試等離子清洗、研發(fā)樣機(jī)、材料真空處理設(shè)備中小腔體閉環(huán)調(diào)壓，設(shè)備預(yù)算有限，追求伺服電動(dòng)調(diào)壓，不想使用氣動(dòng) G 系列（需要?dú)庠矗?/div>

標(biāo)準(zhǔn)閉環(huán)控制成套方案

選型橫向?qū)Ρ龋˙AR?J100?B VS G?J100 VS GAR?J100B）

供貨與選型提示

1. 供貨狀態(tài)：BAR?J100 為 BAR 系列流通主力經(jīng)濟(jì)型型號(hào)，部分現(xiàn)貨；?B 抱閘版本、CF 法蘭、Kalrez 密封為定制，日本原廠訂貨；可提供原廠規(guī)格書(shū)、氦檢報(bào)告、CE 證書(shū)。

2. 選型避坑：不可與普通開(kāi)關(guān)蝶閥 B?J100 混淆；B?J100 僅開(kāi)關(guān)，無(wú)開(kāi)度調(diào)節(jié)，不能做閉環(huán)壓力控制；標(biāo)準(zhǔn) BAR?J100 無(wú)抱閘，需要斷電鎖止必須指定?B 后綴。

提示：市場(chǎng)存在翻新二手閥，采購(gòu)務(wù)必核對(duì)本體銘牌以及原廠檢測(cè)資料。