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EBARA 荏原 EV-S20 干式真空泵 玉崎科學(xué)儀器已到貨
更新時(shí)間：2026-06-03
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到貨公告
各位客戶、合作伙伴：大家好！
我司新一批 EBARA 荏原 EV-S20 干式真空泵 已完成入庫、檢驗(yàn)、上架工作，目前庫存充足，可正常接單、發(fā)貨。
EBARA 荏原 EV-S20 干式真空泵完整產(chǎn)品詳情
一、三大細(xì)分型號區(qū)分
| 型號 | 配置說明 | 適用工況 |
|---|---|---|
| EV-S20（標(biāo)準(zhǔn)版） | 普通碳鋼內(nèi)腔、無氮?dú)獯祾?/span> | 潔凈氣體、實(shí)驗(yàn)室、SEM、鍍膜 Loadlock、無腐蝕工藝 |
| EV-S20P | 標(biāo)配N?氮?dú)獯祾哐b置、普通腔體 | 微量水汽、輕微腐蝕性揮發(fā)氣體 |
| EV-S20N | 鎳合金防腐腔體 + 內(nèi)置氮?dú)獯祾?/span> | 弱酸 / 鹵素腐蝕氣體（HF、BCl?、Cl?）、半導(dǎo)體蝕刻、濕制程 |
二、核心技術(shù)參數(shù)（原廠標(biāo)準(zhǔn)）
抽氣速率：1670 L/min（50/60Hz 通用，變頻不受電網(wǎng)頻率影響）
極限真空
EV-S20/20P：氣鎮(zhèn) OFF=3Pa；氣鎮(zhèn) ON=5Pa
EV-S20N：氣鎮(zhèn) ON=5Pa
接口規(guī)格：進(jìn)氣 NW50、排氣 NW25
功率：極限工況 0.4kW，滿載額定 0.75kW
電源：三相 200～220V 50/60Hz
冷卻方式：全風(fēng)冷，無需接冷卻水（核心賣點(diǎn)）
噪音：≤57dB(A)
整機(jī)尺寸 (W×D×H)：395×575×352mm
凈重：65kg
三、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與核心優(yōu)勢
1、結(jié)構(gòu)：無油羅茨干式泵
2、節(jié)能設(shè)計(jì)
3、電控系統(tǒng)
4、安裝便捷
四、適用行業(yè) & 設(shè)備（國內(nèi)熱銷場景）
科研實(shí)驗(yàn)室：SEM 掃描電鏡、X 射線熒光儀、質(zhì)譜儀、鍍膜機(jī)預(yù)抽
半導(dǎo)體：Loadlock 真空腔、小型 CVD、中小腔體刻蝕、晶圓轉(zhuǎn)運(yùn)預(yù)真空
光電 / LED / 光伏：芯片封裝、小型蒸鍍、鋰電材料真空預(yù)處理
化工醫(yī)藥：溶劑蒸餾、藥品真空干燥（20N 防腐款）
五、選型快速建議
潔凈無腐蝕：選EV-S20（性價(jià)比高，國內(nèi)常規(guī)備貨主力）
含水汽、少量有機(jī)溶劑：選EV-S20P（氮?dú)獯祾撸?/span>
酸性、鹵素腐蝕性廢氣：選EV-S20N（鎳防腐 + 吹掃）
六、日常維護(hù)
我司將持續(xù)保障貨源穩(wěn)定、供貨及時(shí)，竭誠為大家提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)。
如需詢價(jià)、訂購、索取產(chǎn)品資料及資質(zhì)文件，可隨時(shí)與我司對接人員聯(lián)系。
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
2026年 06月 03日
