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玉崎科學到貨：ULVAC 愛發(fā)科 LS120A 干式螺桿真空泵已完成入庫
更新時間：2026-07-28
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到貨公告
各位客戶、合作伙伴：大家好！
我司新一批 ULVAC 愛發(fā)科 LS120A 干式螺桿真空泵已完成入庫、檢驗、上架工作，目前庫存充足，可正常接單、發(fā)貨。
一、基礎概述
品牌型號：日本 ULVAC（愛發(fā)科）LS120A泵類型：螺桿式干式真空泵（無油干泵）LS 系列為中小腔體通用干泵，依靠一對非接觸螺桿轉(zhuǎn)子壓縮排氣，泵腔不含潤滑油，無油霧污染；可從大氣壓連續(xù)抽到中真空區(qū)間，分為兩大配置版本：
LS120A-C（C 型，潔凈款）
LS120A-L（L 型，輕度工藝款）
二、核心技術參數(shù)
| 項目 | LS120A-C（潔凈型） | LS120A-L（工藝型） |
|---|---|---|
| 最大抽速 | 120 m3/h（50Hz） | 120 m3/h（50Hz） |
| 極限壓力 | ≤0.6 Pa | ≤0.6 Pa |
| 極限真空功耗 | ≤0.6 kW（ECO-SHOCK 節(jié)能） | 常規(guī)負載運行 |
| 電源規(guī)格 | 三相 AC200–240V / 380–460V | 三相 AC200–240V / 380–460V |
| 進氣法蘭 | KF50（水平 / 垂直可選） | KF50 |
| 排氣法蘭 | KF40 | KF40 |
| 噪音 | ≤61 dB(A) | ≤61 dB(A) |
| 整機重量 | 142 kg | 142 kg |
| 冷卻方式 | 水冷，冷卻水流量≥2.0 L/min | 水冷，冷卻水流量≥2.0 L/min |
| 水蒸氣處理 | 不可處理水汽 | 最大 1.5 kg/h（配合氮氣吹掃） |
| 吹掃氮氣 | 無吹掃接口 | 標配氮氣吹掃（0～50 SLM） |
三、型號版本差異
- LS120A-C 潔凈型搭載 ULVAC ECO-SHOCK 智能節(jié)能系統(tǒng)，真空達到設定值自動降功率；不需要軸封氮氣，運行成本更低。適用：干燥空氣、氮氣潔凈排氣，禁止水汽、有機溶劑、粉塵。
- LS120A-L 輕工藝型泵腔表面防腐處理，預留氮氣吹掃回路，密封件可選 FFKM 全氟橡膠；可處理微量水蒸氣、少量低沸點有機溶劑蒸汽。適用：真空干燥、凍干、等離子灰化等輕度工藝；不可抽強酸、鹵素、大量粉塵。
四、產(chǎn)品主要特點
? 無油潔凈：轉(zhuǎn)子非接觸式結構，無潤滑油，杜絕返油污染工件? 常壓抽氣性能優(yōu)異：大氣壓附近抽速高，相比傳統(tǒng)干泵抽氣時間縮短約 20%? 低噪音：內(nèi)置一體式消音器，整機噪音控制在 61dB (A) 以內(nèi)? 節(jié)能優(yōu)勢（C 型）：極限真空下功耗低，長期連續(xù)運轉(zhuǎn)省電? 全區(qū)間運行：大氣壓→中真空可連續(xù)長時間運行，可作為分子泵（TMP）前級泵? 標準化真空法蘭：KF 標準接口，方便管路配套
五、典型應用場景
LS120A-C（潔凈款）
光學 / 半導體：濺射鍍膜、蒸鍍設備、Load-Lock 真空鎖倉
真空設備：真空腔體預抽、分子泵前級泵、基板貼合機
LS120A-L（工藝款）
真空冷凍干燥、小型真空烘箱
等離子清洗、灰化工藝、輕度溶劑脫泡
六、使用重要注意事項
必須配套冷卻水，缺水運行極易造成泵體過熱損壞；
C 型嚴禁吸入水汽、液體、粉塵、腐蝕性氣體；
L 型處理水汽 / 溶劑時，務必持續(xù)通入吹掃氮氣，防止內(nèi)部結露腐蝕螺桿；
進氣前端建議設置粉塵過濾器，固體顆粒會劃傷螺桿型面；
不適合大量粉塵、強酸堿、鹵素氣體工況（該場景選用 MS 系列防腐干泵）。
我司將持續(xù)保障貨源穩(wěn)定、供貨及時，竭誠為大家提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務。
如需詢價、訂購、索取產(chǎn)品資料及資質(zhì)文件，可隨時與我司對接人員聯(lián)系。
品牌負責人：林經(jīng)理
玉崎科學儀器（深圳）有限公司
2026年 07月27日
