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更新時間:2026-07-28
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到貨公告
各位客戶、合作伙伴:大家好!
我司新一批 ULVAC 愛發科 DIS-90 渦旋干式真空泵 已完成入庫、檢驗、上架工作,目前庫存充足,可正常接單、發貨。
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 抽氣速度 | 50Hz:90 L/min;60Hz:108 L/min |
| 極限壓力 | ≤5 Pa |
| 電機規格 | 單相 100/115/200/230V,150W,4 極電容啟動 |
| 吸氣接口 | KF25 |
| 排氣接口 | KF16 |
| 外形尺寸 | 214(W)×308(L)×225(H) mm |
| 整機重量 | 14 kg |
| 冷卻方式 | 風冷(無需冷卻水) |
| 噪音 | ≤52dB(開啟空氣沖洗 AF);≤57dB(關閉 AF) |
| 環境溫度 | 5~40℃,室內使用 |
| 標配功能 | 內置運行計時表、自動復位熱保護器、Air Flush 空氣吹掃接口(Rc1/8) |
| RoHS 認證 | 支持 |
分析儀器:氦氣檢漏儀、質譜儀、SEM 掃描電鏡、表面分析設備前級泵
光學 / 半導體小型設備:小型鍍膜、Load-Lock 預抽、晶圓小型真空載臺
實驗室真空:小型真空腔體、樣品脫氣、真空干燥、氣體回收系統
通用精密設備:小型等離子設備、科研真空實驗裝置
工況限制
不可抽吸大量粉塵、有機溶劑蒸汽、強酸、鹵素、液態水;僅允許微量水汽,長時間含水工況必須持續開啟空氣吹掃。
進氣建議
進氣前端務必加裝粉塵過濾器,固體顆粒會刮傷渦旋密封面,造成極限真空惡化。
對比選型參考
DIS-90:渦旋干泵,極限真空 5Pa,低噪潔凈,適合分子泵前級、精密儀器;
DOP-301SB:搖動活塞干泵,抽速更大、極限真空僅數千 Pa,適合粗真空吸附;
LS120A:螺桿干泵,大抽速、水冷,面向工藝腔體。
我司將持續保障貨源穩定、供貨及時,竭誠為大家提供優質的產品與服務。
如需詢價、訂購、索取產品資料及資質文件,可隨時與我司對接人員聯系。
品牌負責人:林經理
玉崎科學儀器(深圳)有限公司
2026年 07月27日