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當前位置:首頁公司新聞玉崎科學到貨:ULVAC 愛發科 DIS-90 渦旋干式真空泵 已完成入庫

玉崎科學到貨:ULVAC 愛發科 DIS-90 渦旋干式真空泵 已完成入庫

更新時間:2026-07-28點擊次數:52

到貨公告

各位客戶、合作伙伴:大家好!

我司新一批 ULVAC 愛發科 DIS-90 渦旋干式真空泵 已完成入庫、檢驗、上架工作,目前庫存充足,可正常接單、發貨。


一、基礎概述

品牌型號:ULVAC(日本愛發科)DIS-90
泵類型雙繞式渦旋干式真空泵(無油干泵)
采用一級動渦旋 + 兩級定渦旋復合渦旋結構;動、靜渦旋盤非接觸運轉,泵腔內部無潤滑油,屬于潔凈型干式機械泵;可直接從大氣壓啟動,常作為分子泵前級泵,是實驗室、精密設備小型真空主力干泵。

二、核心技術規格

項目參數
抽氣速度50Hz:90 L/min;60Hz:108 L/min
極限壓力≤5 Pa
電機規格單相 100/115/200/230V,150W,4 極電容啟動
吸氣接口KF25
排氣接口KF16
外形尺寸214(W)×308(L)×225(H) mm
整機重量14 kg
冷卻方式風冷(無需冷卻水)
噪音≤52dB(開啟空氣沖洗 AF);≤57dB(關閉 AF)
環境溫度5~40℃,室內使用
標配功能內置運行計時表、自動復位熱保護器、Air Flush 空氣吹掃接口(Rc1/8)
RoHS 認證支持

三、工作原理

偏心驅動軸帶動動渦旋盤做圓周平動,與固定渦旋盤形成連續變化的密閉壓縮腔;氣體由外周吸入,逐級向中心壓縮排出;無油、無金屬摩擦接觸,不產生油霧污染,獲得潔凈真空。

四、產品核心特點

? 無油潔凈真空
泵腔不含潤滑油,無返油風險,不會污染腔體、樣品、光學元件,優于油旋片泵。
? 風冷小型化,安裝靈活
無需水冷,體積小巧、自帶提手,便于設備內置集成、實驗室移動使用。
? 低振動、低噪音
渦旋運轉平穩,振動遠小于活塞式干泵(DOP 系列),適合精密分析儀器。
? 自帶空氣吹掃(AF)功能
通入少量干燥空氣吹掃泵腔,抑制水汽凝結,輕微提升耐水汽能力。
? 運維可視化
標配運行小時計,便于記錄時長、規劃密封件保養周期;內置過熱保護。
? 大氣壓可連續啟動
寬壓力區間穩定運行,可直接作為分子泵(TMP)標準前級泵。

五、典型應用場景

  1. 分析儀器:氦氣檢漏儀、質譜儀、SEM 掃描電鏡、表面分析設備前級泵

  2. 光學 / 半導體小型設備:小型鍍膜、Load-Lock 預抽、晶圓小型真空載臺

  3. 實驗室真空:小型真空腔體、樣品脫氣、真空干燥、氣體回收系統

  4. 通用精密設備:小型等離子設備、科研真空實驗裝置

六、重要使用注意事項

  1. 工況限制

    不可抽吸大量粉塵、有機溶劑蒸汽、強酸、鹵素、液態水;僅允許微量水汽,長時間含水工況必須持續開啟空氣吹掃。

  2. 進氣建議

    進氣前端務必加裝粉塵過濾器,固體顆粒會刮傷渦旋密封面,造成極限真空惡化。

  3. 對比選型參考

  • DIS-90:渦旋干泵,極限真空 5Pa,低噪潔凈,適合分子泵前級、精密儀器

  • DOP-301SB:搖動活塞干泵,抽速更大、極限真空僅數千 Pa,適合粗真空吸附;

  • LS120A:螺桿干泵,大抽速、水冷,面向工藝腔體。

我司將持續保障貨源穩定、供貨及時,竭誠為大家提供優質的產品與服務。

如需詢價、訂購、索取產品資料及資質文件,可隨時與我司對接人員聯系。

品牌負責人:林經理

玉崎科學儀器(深圳)有限公司

2026年 07月27日



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