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進口現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人
產品簡介:

進口現貨ULVAC日本愛發科 COVOT-6-X5 真空傳輸機器人
進口現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

產品型號:COVOT-6-X5

更新時間:2025-11-12

廠商性質:代理商

訪問量:490

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進口現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

進口現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

可搬運多片晶圓的高吞吐量真空傳送機器人


真空傳輸機器人
COVOT系列
Model:COVOT

ULVAC

這是一款清潔型多功能真空搬運機器人,融合了 ULVAC 作為真空設備制造商培養的技術。
  • 進口現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

    COVOT-6-X5

  • 進口現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

    COVOT-CR4

特點

  • 有多種臂可供選擇,以適應行程、轉彎半徑、傳輸板的數量等。

  • COVOT-CR4 由于其磁流體密封,可在 10-6 Pa 的高真空中使用。

規格

COVOT-6-X5COVOT-CR4
工作壓力區域氣壓~10-1Pa氣壓~10-6Pa
晶圓尺寸200mm/300mm200mm/300mm
持有的晶圓數量4枚2枚
最大范圍 *880mm1050mm
旋轉角度360° 無窮±180°
提升行程110mm120mm
最小旋轉直徑 *980mm960mm
有效載荷能力(包括手)1kg1kg
操作速度伸縮式Max 1.5sec / 全行程最大限度 1.5sec/780mm
Max 2.0sec / 180°Max 2.0sec / 180°
提升Max 1.5sec / 20mmMax 3.5sec / 105mm
可重復位置精度伸縮式±0.1mm±0.1mm
±0.1mm±0.1mm
提升±0.1mm±0.1mm
示教器歸屬感歸屬感
控制器分開分開
取決于安裝臂和手。


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