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日本FLUORO福樂真空吸筆鑷子用于半導體無塵室內手動搬運硅晶圓碳化硅基板
更新時間：2026-08-17
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日本 FLUORO 福樂 真空吸筆（C?防靜電系列 / F?耐酸堿特氟龍系列）
供貨渠道：玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應 品牌負責人：林經理 地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
產品概述
FLUORO 真空吸筆（真空鑷子）用于半導體無塵室內手動搬運硅晶圓、碳化硅、玻璃基板、芯片 Die；依靠外接真空泵產生負壓吸附，實現無夾傷、無劃痕取放工件。
C 系列：防靜電導電款，常規(guī)干態(tài)無塵工位，探針、貼膜、劃片、封裝工序主流選用。
F 系列：PTFE 特氟龍（鐵氟龍）耐化學款，濕法清洗、蝕刻、浸泡藥液工況，耐強酸強堿有機溶劑。
需要配套福樂 FV 系列無油真空泵作為負壓氣源，吸嘴 / 吸盤為可更換模塊化耗材。
閥門類型定義（C/F 系列通用）
| 閥體代號 | 閥門類型 | 工作邏輯 |
|---|---|---|
| 001 | NC 常閉 | 按住吸氣，松開自動斷真空釋放工件 |
| 002 | NO 常開 | 持續(xù)通氣，按鍵按下斷真空釋放 |
| 003 | NO+SW 帶自鎖開關 | 常開基礎增加鎖定，可保持吸附，解放單手 |
| 007 | NO+Blow 吹氣釋放 | 吸附完成噴氣卸料，僅限匹配 FV?W 系列真空泵 |
后綴 X = 萬向 360° 旋轉接頭；Y/Z = 直柄固定接頭；CP = 導電 PEEK 吸嘴；3F/PK/VP=F 系列吸嘴材質。
C 系列｜防靜電導電真空吸筆（黑色筆身，碳纖維增強導電尼龍）
核心特點
筆身：碳纖維增強導電尼龍，整體導電通路，表面電阻 10??10?Ω，有效泄放靜電，保護器件不被 ESD 擊穿。
吸嘴：導電 PEEK，鏡面拋光，低發(fā)塵，不劃傷晶圓鍍膜、光刻膠層。
內部閥芯氟樹脂密封，氣密性優(yōu)異，潔凈室 Class100?1000 可用，無金屬析出污染。
模塊化快拆，吸嘴、吸盤快速更換，適配 2?12 英寸整片晶圓、小芯片。
C 系列國內熱銷型號
| 型號 | 閥體類型 | 接頭 | 典型用途 |
|---|---|---|---|
| C001?X?97?CP | NC 常閉 | 萬向 X | 8 寸整片硅片，頻繁點動取放 |
| C002?Y?98?CP | NO 常開 | 直柄 Y | 6?8 寸晶圓連續(xù)作業(yè) |
| C003?Y?92?CP | NO+SW 自鎖開關 | 直柄 Y | 國內銷量大，6?8 寸通用，實驗室 |
應用場景：探針臺、晶圓貼膜、研磨劃片、芯片封裝、光學基板搬運，干燥無塵環(huán)境，不可長時間浸泡化學藥液。
F 系列｜耐酸堿特氟龍 PTFE 真空吸筆（白色氟樹脂筆身）
核心特點
整機筆身為 PTFE 特氟龍（四氟）氟樹脂，化學惰性，耐強酸、強堿、顯影液、各類有機溶劑，可短時浸泡藥液槽內使用。
耐溫?20℃~180℃，冷熱藥液交替不變形滲漏；自重輕約 35g，長時間手持不累手。
吸嘴可選三種材質：
3F(PCTFE)：標準特氟龍吸盤；
PK(PEEK)：通用濕法，不傷鍍膜；
VP(Vespel)：高耐磨，高頻連續(xù)作業(yè)工況。
F 系列國內熱銷型號
| 型號 | 閥體類型 | 接頭 | 典型用途 |
|---|---|---|---|
| F001?Z?02?3F | NC 常閉 | 直柄 Z | 5 寸濕法槽點動取片 |
| F002?Z?05?PK | NO 常開 | 直柄 Z | 6 寸腐蝕工序連續(xù)搬運 |
| F003?X?06?VP | NO+SW 自鎖開關 | 萬向 X | 6 寸濕法爆款，可鎖定吸附，適配清洗蝕刻工位 |
| F007?X?46?VP | NO+Blow 吹氣釋放 | 萬向 X | 自動噴氣卸料，需要匹配 FV?W 真空泵 |
應用場景：濕法清洗、酸蝕刻、顯影、藥液浸泡前后晶圓轉移；不適合高沖擊機械磕碰。
配套真空泵（FLUORO 原裝氣源）
| 型號 | 規(guī)格 | 適配吸筆場景 |
|---|---|---|
| FV?30?240 | 220V，小負壓 | 2?6 寸小尺寸晶圓 |
| FV?60?240 | 220V 標準款 | 6?8 寸，市面常用，可驅動 1?2 支吸筆 |
| FV?XP | 大流量帶 HEPA 過濾 | 8?12 寸，可同時多支吸筆工作，產線 / 實驗室 |
配件耗材清單
各類圓形、方形晶圓吸盤（適配 2?12 英寸）；
導電 PEEK、Vespel、PCTFE 吸嘴；
防靜電真空軟管、接頭組件；
吸筆立式收納支架。
選型注意要點
干態(tài)潔凈工作臺 → 優(yōu)先C 系列防靜電；接觸酸堿藥液、清洗槽 → 必須選F 系列特氟龍。
確認閥門邏輯：頻繁點動取件選 001 常閉；長時間拿持工件選 003 帶自鎖開關。
F007 吹氣款不能直接搭配 FV?60，必須配套 FV?W 系列真空泵。
整套包含：吸筆筆身 + 吸盤吸嘴 + 真空泵 + 真空管路，分開訂貨。
訂貨說明
日本原裝；部分型號現貨，訂貨貨期 4?6 周；可提供原廠 PDF 規(guī)格書、COA，支持含稅報價。
提示：下單請完整提供完整型號（含后綴接頭、吸嘴代碼），避免配件錯配。
