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玉科原裝現貨EBARA 荏原 EV?S50P 多級羅茨干式真空泵
更新時間：2026-08-19
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玉科原裝現貨EBARA 荏原 EV?S50P 多級羅茨干式真空泵
EV?S50P：標配氮氣吹掃，普通材質，用于輕微粉塵、少量副產物工況
核心規格參數
| 項目 | EV?S50P |
|---|---|
| 泵結構 | 多級非接觸羅茨干式無油泵 |
| 最大抽速 | 5000 L/min（300 m3/h），50/60Hz 性能一樣 |
| 極限真空 | 0.5 Pa（空載） |
| 進氣法蘭 | NW50 KF 法蘭 |
| 排氣法蘭 | NW25 KF 法蘭 |
| 冷卻方式 | 水冷，冷卻水流量 2.0?3.0 L/min，進水≤30℃ |
| 供電 | 三相 AC200?220V / 380?440V，50/60Hz |
| 電源容量 | 4.8 kVA |
| 極限真空運行功率 | 0.55 kW；變頻帶怠速休眠節能模式 |
| N?吹掃 | 內置氮氣吹掃系統，帶調壓閥；吹掃流量可調 |
| 外形 W×D×H | 230 × 450 × 520 mm |
| 整機重量 | 100 kg |
| 通訊接口 | LCD 本地面板；RS485；D?Sub 控制接口；報警歷史存儲；PLC 遠程啟停 / 報警輸出 |
| 認證 | SEMI?S2、CE、NRTL |
核心特點
多級非接觸羅茨，無油，無碳氫返油，滿足半導體潔凈真空；水冷結構，必須配套冷卻水系統，不能風冷替代。
直流變頻驅動，自帶怠速休眠功能，低功耗；壓力高區間依然保持大抽速，適合工藝腔體連續運行。
EV?S50P 自帶氮氣吹掃，抑制粉塵、副產物沉積泵腔內部，延長維護周期；不能處理強腐蝕鹵素氣體，強腐蝕請選 P/N 鎳合金版本。
完整監控：溫度、負載、故障預警、歷史報警記錄，支持上位機 RS485 監控，適配半導體設備 PLC 集成。
定位：工藝干泵，可直接抽工藝腔體；也可做分子泵前級泵；區別 EV?PA/EV?A10，后者只適合 Load?lock / 預抽，不適合帶副產物工藝氣體。
典型應用
半導體：Load?lock、傳輸腔、中小型 PVD、輕蝕刻、CVD 工藝腔體前級；面板、光伏設備；不適用強腐蝕重蝕刻工藝（選 P/N）。
供貨采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
