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EBARA 荏原 EV?A10?3S五級羅茨風冷干式無油真空泵玉崎科學儀器原裝現貨
更新時間：2026-08-19
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EBARA 荏原 EV?A10?3S五級羅茨風冷干式無油真空泵玉崎科學儀器原裝現貨
EV?A10?3S：三相 AC200?240V，五級羅茨風冷干式無油真空泵；同本體單相版本 EV?A10?2S。泵本體、抽速、真空、接口一致；僅電機供電規格不同；半導體 Load?lock、鍍膜、科研腔體預抽，風冷免冷卻水。
型號后綴釋義
EV?A10：泵本體型號，5 級非接觸羅茨干式泵
3S = 3?Phase 三相 AC200?240V 50/60Hz
2S = 單相 AC200?240V
完整規格參數
| 項目 | EV?A10?3S |
|---|---|
| 泵結構 | 五級非接觸羅茨干式真空泵，無油 |
| 最大抽速 | 1000?L/min（60?m3/h） |
| 大氣壓抽速 | 800?L/min |
| 極限真空（氣鎮 OFF） | 1.0?Pa |
| 極限真空（氣鎮 ON） | 2.0?3.0?Pa荏原製作所 |
| 最大水蒸氣處理量 | 500?g/h（氣鎮開啟） |
| 進氣接口 | NW40(KF40) |
| 排氣接口 | NW25(KF25) |
| 冷卻方式 | 強制風冷，無需冷卻水 |
| 供電規格 | 三相 AC200?240V，50/60Hz，電壓允許 ±10% |
| 電源容量 | 3.0?kVA |
| 極限真空運行功率 | 1.1?kW |
| 噪音 | ≤58?dB(A) |
| 外形 W×D×H | 317 × 544 × 344?mm |
| 整機重量 | 75?kg |
| 標配 | 帶鎖腳輪 + 調平底座、內置氣鎮閥、進氣過濾器；遠程 I/O 報警、啟停信號 |
| 合規 | CE、SEMI?S2、NRTL 認證 |
EV?A10?3S VS EV?A10?2S 對比
| 項目 | EV?A10?3S（三相） | EV?A10?2S（單相） |
|---|---|---|
| 泵本體、性能、接口、真空 | 相同 | 相同 |
| 供電 | 三相 200?240V | 單相 200?240V |
| 適用場景 | 工廠產線、設備端具備三相供電，長時間連續運行，電網更穩定 | 實驗室、設備只有單相 220V 供電 |
三相 3S 版本工業產線更常用，長時間連續運行電流更平穩；單相 2S 多用于實驗室小設備。
核心特點
五級非接觸羅茨轉子，泵腔與齒輪潤滑腔隔離；無油，無返油污染，適合潔凈腔體、Load?lock 預抽、分子泵前級泵。
風冷結構，不用冷卻水，無漏水風險，無塵車間直接擺放。
自帶可開關氣鎮閥，處理水汽、少量溶劑蒸汽；不直接處理強腐蝕工藝氣體，可選氮氣吹掃選配套件。
具備 PLC 遠程 I/O 接口：運行、故障報警、遠程啟停，方便集成設備控制系統。
消耗件少：僅進氣過濾器定期更換；齒輪油 20000 小時更換，轉子非接觸幾乎無磨損。
僅作為前級粗抽泵，極限 1Pa，不能直接實現高真空；需搭配分子泵獲得高真空。
典型應用
半導體 Load?lock 腔體預抽、PVD 鍍膜機前級、等離子清洗、科研真空腔體、真空干燥、鋰電真空脫氣、頻繁破真空工況。
可選配件
耐蝕氮氣吹掃套件：輕微腐蝕性工藝氣體
排氣消音器、油霧捕集器
進氣粉塵過濾器
采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
