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EBARA 荏原 EV?A10?2S 五級羅茨干式真空泵玉崎科學儀器原裝現貨供應
更新時間：2026-08-19
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EBARA 荏原 EV?A10?2S 五級羅茨干式真空泵玉崎科學儀器原裝現貨供應
EV?A10?2S：單相 200?240V 風冷無油干泵；同系列三相版本 EV?A10?3S。定位：Load?lock 預抽、科研腔體、鍍膜、半導體中小型設備，不需要冷卻水，僅供電即可運行，擅長反復從大氣抽真空工況。
EV?A10整機外觀
型號釋義
EV?A10：系列本體，五級非接觸羅茨干式泵
2S = Single?phase 單相 AC200?240V
3S = 三相 AC200?240V
核心規格參數
| 項目 | EV?A10?2S 參數 |
|---|---|
| 泵類型 | 多級羅茨干式無油真空泵（5 級） |
| 最大抽速 | 1000 L/min（60 m3/h） |
| 大氣壓抽速 | 800 L/min |
| 極限真空（氣鎮關閉） | 1.0 Pa |
| 極限真空（氣鎮開啟） | 2.0?3.0 Pa |
| 最大水蒸氣處理量 | 500 g/h（氣鎮開啟） |
| 進氣口 | NW40(KF40) |
| 排氣口 | NW25(KF25) |
| 冷卻方式 | 強制風冷，無需冷卻水 |
| 供電 | 單相 AC200?240V，50/60Hz，允許波動 ±10% |
| 電源容量 | 3.0 kVA |
| 極限真空運行功率 | 1.1 kW |
| 噪音 | ≤58 dB(A) |
| 外形 W×D×H | 317 × 544 × 344 mm |
| 整機重量 | 75 kg |
| 標配 | 可鎖腳輪 + 調平底座、內置氣鎮閥、進氣過濾器 |
| 認證 | CE、NRTL、SEMI?S2 合規 |
結構與關鍵特點
五級非接觸羅茨轉子，泵腔與齒輪潤滑腔隔離；無油，無返油污染，適合潔凈腔體、光學、半導體 Load?Lock 預抽。
風冷設計，不用水冷，無塵車間、實驗室可以直接擺放，沒有漏水風險。
50Hz/60Hz 抽速性能一致，內置變頻驅動，低功耗、啟停平穩。
自帶可開關氣鎮閥，可處理水汽，適合溶劑、含水工藝；不適合強腐蝕工藝氣體（可選吹掃選配）。
電氣接口：具備報警輸出、遠程啟停 I/O 信號，方便接入設備 PLC 控制系統。
消耗件：僅進氣過濾器，轉子非接觸幾乎無磨損，長周期免維護。
典型應用
半導體設備：Load?lock 腔體預抽、等離子清洗、小型 PVD 鍍膜機粗抽
科研真空腔體、光學實驗、真空干燥
鋰電：真空脫氣、注液腔體預抽
頻繁破真空、反復大氣抽氣工況（對比渦旋泵抽大氣效率優勢明顯）
??注意：本泵只到 1Pa 級別，屬于粗抽 / 預抽泵，不能做高真空主泵；需要搭配分子泵獲得高真空。
選配選項
耐蝕氮氣吹掃套件：處理輕微腐蝕性氣體
排氣油霧捕集器
專用進氣過濾器（粉塵顆粒工況
供貨采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
