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EBARA 荏原 EV?A10?2S 五級(jí)羅茨干式真空泵玉崎科學(xué)儀器原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
更新時(shí)間：2026-08-19
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EBARA 荏原 EV?A10?2S 五級(jí)羅茨干式真空泵玉崎科學(xué)儀器原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
EV?A10?2S：單相 200?240V 風(fēng)冷無(wú)油干泵；同系列三相版本 EV?A10?3S。定位：Load?lock 預(yù)抽、科研腔體、鍍膜、半導(dǎo)體中小型設(shè)備，不需要冷卻水，僅供電即可運(yùn)行，擅長(zhǎng)反復(fù)從大氣抽真空工況。
型號(hào)釋義
EV?A10：系列本體，五級(jí)非接觸羅茨干式泵
2S = Single?phase 單相 AC200?240V
3S = 三相 AC200?240V
核心規(guī)格參數(shù)
| 項(xiàng)目 | EV?A10?2S 參數(shù) |
|---|---|
| 泵類(lèi)型 | 多級(jí)羅茨干式無(wú)油真空泵（5 級(jí)） |
| 最大抽速 | 1000 L/min（60 m3/h） |
| 大氣壓抽速 | 800 L/min |
| 極限真空（氣鎮(zhèn)關(guān)閉） | 1.0 Pa |
| 極限真空（氣鎮(zhèn)開(kāi)啟） | 2.0?3.0 Pa |
| 最大水蒸氣處理量 | 500 g/h（氣鎮(zhèn)開(kāi)啟） |
| 進(jìn)氣口 | NW40(KF40) |
| 排氣口 | NW25(KF25) |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷，無(wú)需冷卻水 |
| 供電 | 單相 AC200?240V，50/60Hz，允許波動(dòng) ±10% |
| 電源容量 | 3.0 kVA |
| 極限真空運(yùn)行功率 | 1.1 kW |
| 噪音 | ≤58 dB(A) |
| 外形 W×D×H | 317 × 544 × 344 mm |
| 整機(jī)重量 | 75 kg |
| 標(biāo)配 | 可鎖腳輪 + 調(diào)平底座、內(nèi)置氣鎮(zhèn)閥、進(jìn)氣過(guò)濾器 |
| 認(rèn)證 | CE、NRTL、SEMI?S2 合規(guī) |
結(jié)構(gòu)與關(guān)鍵特點(diǎn)
五級(jí)非接觸羅茨轉(zhuǎn)子，泵腔與齒輪潤(rùn)滑腔隔離；無(wú)油，無(wú)返油污染，適合潔凈腔體、光學(xué)、半導(dǎo)體 Load?Lock 預(yù)抽。
風(fēng)冷設(shè)計(jì)，不用水冷，無(wú)塵車(chē)間、實(shí)驗(yàn)室可以直接擺放，沒(méi)有漏水風(fēng)險(xiǎn)。
50Hz/60Hz 抽速性能一致，內(nèi)置變頻驅(qū)動(dòng)，低功耗、啟停平穩(wěn)。
自帶可開(kāi)關(guān)氣鎮(zhèn)閥，可處理水汽，適合溶劑、含水工藝；不適合強(qiáng)腐蝕工藝氣體（可選吹掃選配）。
電氣接口：具備報(bào)警輸出、遠(yuǎn)程啟停 I/O 信號(hào)，方便接入設(shè)備 PLC 控制系統(tǒng)。
消耗件：僅進(jìn)氣過(guò)濾器，轉(zhuǎn)子非接觸幾乎無(wú)磨損，長(zhǎng)周期免維護(hù)。
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體設(shè)備：Load?lock 腔體預(yù)抽、等離子清洗、小型 PVD 鍍膜機(jī)粗抽
科研真空腔體、光學(xué)實(shí)驗(yàn)、真空干燥
鋰電：真空脫氣、注液腔體預(yù)抽
頻繁破真空、反復(fù)大氣抽氣工況（對(duì)比渦旋泵抽大氣效率優(yōu)勢(shì)明顯）
??注意：本泵只到 1Pa 級(jí)別，屬于粗抽 / 預(yù)抽泵，不能做高真空主泵；需要搭配分子泵獲得高真空。
選配選項(xiàng)
耐蝕氮?dú)獯祾咛准禾幚磔p微腐蝕性氣體
排氣油霧捕集器
專(zhuān)用進(jìn)氣過(guò)濾器（粉塵顆粒工況
供貨采購(gòu)渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號(hào)電商集團(tuán)7樓整層玉崎科學(xué)
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理
