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玉崎科學儀器原裝現貨EBARA 荏原 EV?PA500 干式羅茨真空泵
更新時間：2026-08-19
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玉崎科學儀器原裝現貨EBARA 荏原 EV?PA500 干式羅茨真空泵
EV?PA500：小型輕量化風冷無油干泵，單相寬電壓 100?230V，多級非接觸羅茨結構；定位實驗室、小型設備前級泵，SEMI?S2 合規，不需要冷卻水。
EV?PA500整機
型號釋義
EV：EBARA Dry Pump 荏原干式泵系列
PA：Compact Air?cooled 緊湊型風冷便攜機型
500：標稱抽速 500?L/min
核心規格參數
| 項目 | EV?PA500 |
|---|---|
| 泵類型 | 多級非接觸羅茨無油干式真空泵 |
| 標稱抽速 | 500?L/min；氣鎮開啟：430?L/min |
| 極限真空 | 0.5?Pa（氣鎮 OFF）；2.0?Pa（氣鎮 ON） |
| 最大水蒸氣處理量 | 約 250?g/h（開啟氣鎮） |
| 進氣口 | NW25 KF 快裝 |
| 排氣口 | NW25 KF 快裝 |
| 冷卻方式 | 強制風冷，無需冷卻水 |
| 供電 | 單相 AC100?230V，50/60Hz，電壓波動 ±10% |
| 電源容量 | 0.66?kVA |
| 極限真空運行功率 | 0.27?kW |
| 噪音 | 58?dB(A) |
| 外形 W×D×H | 189 × 482 × 272?mm |
| 整機重量 | 21?kg（非常輕便） |
| 通訊與 IO | 面板顯示；RS485 通訊；報警輸出；遠程啟停 I/O |
| 標配 | 內置氣鎮閥、進氣過濾器；把手，可移動擺放 |
| 認證 | CE、SEMI?S2、NRTL |
主要特點
整機無油、非接觸轉子，無碳氫返油，潔凈真空，適合半導體、光學腔體前級；轉子無接觸磨損，密封件免更換，長壽命EBARA CORP...。
單相寬電壓，國內 220V 直接使用，不需要三相電；體積小重量輕，臺式擺放，實驗室友好。
性能 50/60Hz 不受影響，24h 連續運行。
自帶氣鎮閥，可處理少量水汽；不適合強腐蝕工藝氣體，可選氮氣吹掃選配。
支持上位機 RS485 監控：運行狀態、故障報警；可接入設備 PLC。
典型應用
半導體：小型 Load?lock、晶圓檢測臺、等離子清洗、小型 PVD 鍍膜分子泵前級泵
科研真空腔體、SEM 電鏡配套、檢漏儀前級、真空脫泡、真空干燥
定位：前級粗抽泵，不能直接獲得高真空，必須搭配分子泵使用。
