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EBARA 荏原 EV?PA250 小型風冷干式羅茨真空泵玉崎科學儀器原裝現貨
更新時間：2026-08-19
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EBARA 荏原 EV?PA250 小型風冷干式羅茨真空泵玉崎科學儀器原裝現貨
EV?PA250：單相寬電壓 100?230V，無油風冷干泵，EV?PA 系列最小機型；定位小腔體、實驗室、儀器配套前級泵；無需冷卻水，可直接普通 220V 市電使用
核心規格參數
| 項目 | EV?PA250 |
|---|---|
| 泵類型 | 多級非接觸羅茨干式無油真空泵 |
| 抽速 | 230 L/min；氣鎮開啟 200 L/min |
| 極限真空 | 0.5 Pa（氣鎮 OFF）；2.0 Pa（氣鎮 ON） |
| 最大水蒸氣處理量 | 約 120 g/h（氣鎮開啟） |
| 進氣接口 | NW25 KF 快裝 |
| 排氣接口 | NW25 KF 快裝 |
| 冷卻方式 | 強制風冷，不用冷卻水 |
| 供電 | 單相 AC100?230V，50/60Hz，電壓允許 ±10% |
| 電源容量 | 0.45 kVA |
| 極限真空運行功率 | 0.24?kW；峰值 0.38?kW |
| 噪音 | 55 dB (A)（1 米） |
| 外形 W×D×H | 189 × 412 × 272?mm |
| 整機重量 | 16?kg，帶便攜提手 |
| IO 通訊 | 面板狀態燈；遠程啟停 / 報警輸出；可選 RS485 通訊模塊 |
| 標配 | 內置氣鎮閥、進氣過濾器 |
| 認證 | CE、SEMI?S2、NRTL |
核心特點
無油、非接觸轉子，無碳氫返油，潔凈真空；轉子無接觸磨損，密封件免更換，長 MTBF 壽命。
風冷免水，無需水冷管路，無塵室、臺式擺放，無漏水風險。
寬電壓單相，國內 220V 直接使用，不需要三相供電；體積小巧輕便，可移位。
自帶氣鎮閥，處理少量水汽；不適合強腐蝕工藝氣體，可選氮氣吹掃套件。
支持 PLC 遠程啟停、故障報警；RS485 為選配件。
定位：前級粗抽泵，不能直接獲得高真空，需要搭配分子泵。
典型應用
半導體：小型 Load?lock、晶圓檢測臺、微型腔體前級泵
科研：SEM、質譜、檢漏儀配套、小型真空腔體、真空脫泡、樣品干燥
儀器 OEM 配套，間歇抽真空工況
采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
