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日本 MIYUKI 美幸輝 真空閘閥系列完整產品詳情玉科原裝供應
更新時間：2026-08-24
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日本 MIYUKI 美幸輝 真空閘閥系列完整產品詳情玉科原裝供應
原裝現貨供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司品牌負責人：林經理 地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
型號命名規則
系列?法蘭代號?通徑J：JIS 日標法蘭；I：ISO?F 法蘭；C：CF 刀口法蘭；N：KF (NW) 快卸法蘭
例：L?I160、GH?I250、GR?C200
三大系列詳細說明
1、L 系列｜經濟型薄型氣動真空閘閥（市場出貨量大）
驅動：雙作用氣動氣缸，可選彈簧復位單作用；氣源 0.4?0.6MPa，氣缸自帶末端氣墊緩沖，降低沖擊噪音。
結構：超薄面間尺寸，大通導、流阻小；閥板鋁合金輕量化；球壓多點密封，反向壓差依然保持可靠密封；啟閉過程閥板不摩擦閥體，減少顆粒產生。
定位：高性價比通用隔斷閥，真空泵組主路切斷、真空爐粗抽管路、普通鍍膜設備隔離。
局限：不具備開度調節功能，僅全開 / 全關；不適合強腐蝕等離子半導體量產制程。
2、GH 系列｜高性能二段可調式氣動真空閘閥（工業 / 半導體主力）
驅動：主氣缸 + 副調節氣缸二段機構，可機械限位設定小開度；實現全關?小開度慢抽?全開快抽三工位動作，一臺閥門替代主閥 + 旁路閥，簡化管路布局。
核心優勢：慢抽慢破空，抑制氣流揚塵、保護工件；球壓強化密封，大口徑高壓差工況密封穩定；SUS304 電解拋光閥體，低發塵；可升級 Kalrez 密封圈應對腐蝕工藝氣體。
定位：光學鍍膜、鋰電脫氣腔體、大型真空爐、面板設備、半導體中試設備；大口徑量產真空系統。
3、GR 系列｜手動真空閘閥（檢修、無氣源工況）
驅動：手輪回轉手動操作，操作輕便省力；內置過載離合，防止過擰損傷密封件。
結構：側向布置執行器，整機高度低，適配狹小安裝空間；球壓密封，耐受正反壓差；可選配微動開關輸出開 / 關信號對接 PLC 系統。
定位：設備檢修旁路隔斷、實驗室真空腔體、沒有壓縮氣源的點位；腔體維護隔離，保護真空泵與腔體。
通用核心技術參數
| 項目 | 參數規格 |
|---|---|
| 工作壓力范圍 | 10?Pa（常壓）～10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 殼體外漏 ≤1×10?11 Pa?m3/s；閥座內漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 介質接觸材質 | SUS304 不銹鋼，真空釬焊一體成型，內腔電解拋光，低放氣 |
| 標準密封件 | FKM 氟橡膠?25~120℃；可選 Kalrez 全氟醚密封圈，抗等離子腐蝕 |
| 烘烤溫度 | FKM 密封最高 120℃；金屬密封版本最高 200℃ |
| 氣源條件（氣動款） | 0.4?0.6MPa，干燥潔凈無油壓縮空氣 |
| 法蘭規格 | KF (NW)/ISO?F/JIS/CF；口徑 DN40?DN500 全覆蓋 |
| 電氣選配 | 微動開關 NPN/PNP，輸出全開、全關到位信號接入 PLC |
| 裝配檢測 | 百級潔凈室組裝，每臺氦質譜檢漏測試 |
選型對照表
| 使用工況 | 推薦系列 | 代表型號 |
|---|---|---|
| 通用真空機組、普通真空爐，追求性價比 | L 系列 | L?I160、L?I250 |
| 大口徑腔體，需要慢抽 / 慢破空防沖料，鍍膜、鋰電、半導體中試 | GH 系列 | GH?I160、GH?I250、GH?I400 |
| 檢修旁路、無氣源、實驗室設備人工操作隔斷 | GR 系列 | GR?C160、GR?I200 |
供貨與配套服務
現貨庫存：L 系列、GH 系列流通主流型號有原裝現貨，可直接出庫；
訂貨交期：大口徑 DN400?DN500、CF 法蘭、Kalrez 密封定制款日本原廠訂貨；
交付資料：原廠說明書、氦檢報告、CE 證書；支持密封件選型確認；
配套方案：可搭配 MGCS?11 真空控制器，實現閘閥 + 真空規整套系統方案；
