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MIYUKI 美幸輝 MGCS?21雙通道獨立真空壓力控制器玉崎科學儀器原裝供應
更新時間：2026-08-25
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MIYUKI 美幸輝 MGCS?21｜雙通道獨立真空壓力控制器（雙腔體 / 雙工藝段獨立控制）
原裝供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司，品牌負責人林經(jīng)理
公司地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
??僅適配BAR、GAR、G 伺服調節(jié)閥；不能驅動 BAZ 定點閥、BH 緩抽閥、B 開關閥。
型號釋義
MGCS?21：雙通道獨立 APC 真空壓力控制器；通道 CH?1、CH?2 硬件獨立；
可定制：UPS 斷電保護；RS485 通訊；機柜 19 英寸半機架安裝。
結構與工作原理
雙通道獨立 PID 閉環(huán)控制
每通道獨立真空計輸入、獨立 PID 運算、獨立閥門驅動輸出，兩個腔體工藝壓力、PID 參數(shù)、配方分開，互不影響；支持 PIDAT 一鍵自整定，每通道可單獨自整定，適配不同腔體容積、不同泵抽速工況。
閉環(huán)邏輯：真空計采集腔體壓力→對應通道 PID 運算→輸出驅動信號調節(jié)對應伺服閥開度→改變流導，穩(wěn)定腔體工藝壓力。
人機界面：5 英寸彩色觸摸屏
分屏同時顯示 CH?1、CH?2 設定壓力、實際壓力、閥門開度、報警狀態(tài)；每通道可獨立調用存儲工藝配方。
信號接口
模擬輸入：每通道 1 路 0?10V 真空計輸入，合計 2 路獨立真空傳感器；
驅動輸出：2 路伺服閥驅動輸出，分別驅動 #1、#2 伺服調節(jié)閥；
I/O 干接點：每通道獨立啟停、報警、就緒信號；全局報警輸出；
通訊：RS?232C，可選 RS485；支持 PLC / 上位機遠程對兩個通道分別下發(fā)設定、讀取壓力、開度數(shù)據(jù)。
斷電保護：支持外接 UPS 不間斷電源，保存閥位與工藝參數(shù)。
安裝：19 英寸半機架機柜安裝；工作環(huán)境 0?55℃，避免粉塵腐蝕性氣體。
完整技術參數(shù)
| 項目 | MGCS?21 雙通道壓力控制器 參數(shù) |
|---|---|
| 控制通道 | CH?1、CH?2，兩套硬件獨立 PID 閉環(huán) |
| 壓力控制區(qū)間 | 0.1Pa～10?Pa（每通道獨立） |
| 控制精度 | 設定壓力 ±0.1% FS，每通道獨立指標 |
| PID 算法 | PIDAT 模糊自整定，每通道獨立 7 檔自整定 |
| 真空計輸入 | 2× 獨立 0?10V DC（通道 1、通道 2 各接一只真空計） |
| 閥門驅動輸出 | 2 路獨立驅動，適配 BAR/GAR/G 系列伺服調節(jié)閥 |
| 工藝配方存儲 | 每通道 8 組獨立配方，合計 16 組可調用 |
| 顯示 | 5 英寸彩色觸摸屏，雙通道同屏顯示 |
| 電氣 I/O | 每通道獨立啟停、就緒、報警干接點；全局報警輸出 |
| 通訊接口 | 標配 RS?232C；可選 RS?485 |
| 供電 | AC100?230V 寬電壓，最大功耗 300W |
| 安裝方式 | 19 英寸半機架安裝 |
| 尺寸 (寬 × 深 × 高) | 241?mm ×344?mm ×143.5?mm |
| 重量 | 5.2kg |
典型應用場景（雙腔體 / 雙工藝段獨立控制）
- 雙腔 PVD、串聯(lián)式卷繞鍍膜設備前處理腔體與鍍膜腔體，兩個腔體需要維持不同工藝壓力；一臺 MGCS?21 分別驅動兩臺伺服閥，兩套閉環(huán)獨立穩(wěn)壓，省去兩臺單通道 MGCS?11，節(jié)約機柜空間與成本。
- 雙工位半導體、光伏工藝腔體兩套腔體并行工藝，壓力參數(shù)不一樣；通道 1、通道 2 可獨立啟停，互不干涉。
- 科研雙腔體系統(tǒng)、對比試驗平臺兩個實驗腔體需要分別穩(wěn)壓，做對照工藝實驗；每通道獨立整定 PID，適配不同腔體特性。
選型邊界區(qū)分：
MGCS?21（雙通道獨立）：2 套獨立腔體，各配 1 臺伺服閥，兩套閉環(huán)獨立運行；
MGCS?11（單通道）：單腔體控制；如需雙腔，必須配置 2 臺 MGCS?11；
MS?PC：BAZ/GAZ 定點閥專用控制器，不能做 PID 壓力閉環(huán)。
系統(tǒng)成套配置方案
??重要提醒：
MGCS?21只支持 BAR/GAR/G 系列伺服調節(jié)閥，不能驅動 BH 緩抽閥、B 開關蝶閥、BAZ 定點閥；
兩個腔體必須分別配置獨立真空計，不可共用一只真空計；
不是 “一通道接兩個閥門"，而是一通道對應一套腔體 + 一套伺服閥。
選型對比（MGCS?21 VS MGCS?11×2）
| 項目 | MGCS?21 雙通道控制器 | 2 臺 MGCS?11 單通道控制器 |
|---|---|---|
| 控制能力 | 2 通道獨立 PID 閉環(huán) | 兩臺各 1 通道獨立 PID 閉環(huán) |
| 占用機柜空間 | 半機架（1 臺） | 2 臺半機架，占用雙倍空間 |
| 配方存儲 | 每通道 8 組，合計 16 組 | 每臺 7 組，合計 14 組 |
| 觸摸屏 | 5 寸彩屏，雙腔同屏顯示 | 4 寸單色屏，單腔顯示 |
| 通訊 | 一套 RS232，可分別讀寫兩個通道 | 兩套獨立 RS232，上位機需要雙串口 |
| 適用場景 | 雙腔體、雙工位設備 | 多腔體、設備空間充足場景 |
供貨與選型提示
供貨狀態(tài)：MGCS?21 雙通道控制器，訂貨交期；UPS 斷電保護、RS485 版本為定制；可提供原廠規(guī)格書、CE 證書。
選型避坑：MGCS?21 是兩套獨立閉環(huán)，不是單通道雙閥輸出；不可驅動 BAZ/BH/B 系列閥門；每通道必須配套對應伺服閥 + 獨立真空計。
提示：市面存在翻新二手控制器，采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。
