特征
01. 具有優異排氣特性的閘閥。
02. 支持 80A 至 400A 的多種直徑。
03. 即使在停電時也能密封。
04. 開啟、關閉和控制操作噪音極低。
05. 可實現流量控制直至關閉的結構。
06. 由于采用不銹鋼磨料,氣體釋放量低。
規格
| 口徑 | 80A 至 400A |
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| 工作壓力范圍 | 10? Pa 至10?? Pa |
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內部密封件(閥門)泄漏 | 1× 10?1? Pa·m3 / s 或更低 |
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外部密封件(軸)泄漏量 | 1× 10?1? Pa·m3 / s 或更低 |
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| 氣體接觸部件的材料 | SUS304 |
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| 閥門密封 | 氟橡膠O型圈 |
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| 軸封 | 氟橡膠O型圈 |
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| 耐熱溫度 | 主機:150℃ |
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| 電機:40℃ |
| 停電期間閥門運行* | 停止(剎車鎖) |
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GAR在安裝位置方面存在一些限制。詳情請聯系我們。
我們還可以生產防斷電產品。
主要用途:
· 半導體制造:刻蝕、沉積、離子注入、外延、清洗設備的真空腔體隔離、壓力閉環調節、
大流量快速排氣
· 真空鍍膜:光學/半導 PVD/CVD 鍍膜線的抽氣控制、工藝壓力穩定、腔體通斷
· 光伏鋰電:硅片制絨、PECVD、鋰電真空干燥、涂層檢測的大口徑真空管路控制
· 科研分析:高能物理、材料表征、質譜、電子顯微鏡的高真空系統氣路控制
· 工業真空:真空爐、釬焊、檢漏、氦回收系統的大流量、高精度壓力調節
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