BAR系列控制蝶閥

主要用途:
· 半導體制造:刻蝕、沉積、離子注入、外延、清洗設備的真空腔體隔離、壓力閉環調節、
大流量快速排氣
· 真空鍍膜:光學/半導 PVD/CVD 鍍膜線的抽氣控制、工藝壓力穩定、腔體通斷
· 光伏鋰電:硅片制絨、PECVD、鋰電真空干燥、涂層檢測的大口徑真空管路控制
· 科研分析:高能物理、材料表征、質譜、電子顯微鏡的高真空系統氣路控制
· 工業真空:真空爐、釬焊、檢漏、氦回收系統的大流量、高精度壓力調節
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