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MIYUKI 美幸輝 G?J200 JIS DN200氣動伺服真空控制蝶閥玉科原裝供應
更新時間：2026-08-26
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MIYUKI 美幸輝 G?J200｜JIS DN200 氣動伺服真空控制蝶閥（氣源驅(qū)動閉環(huán)）
原裝現(xiàn)貨供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司品牌負責人：林經(jīng)理地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
型號：G?J200，JIS DN200（200A）氣動伺服調(diào)節(jié)蝶閥G 系列純氣源驅(qū)動伺服調(diào)節(jié)閥，無需伺服電機供電，0?90° 全行程無級開度調(diào)節(jié)；中等大通導，適配鍍膜、等離子刻蝕腔體主抽管路 PID 閉環(huán)穩(wěn)壓，設(shè)備布線簡單，廣泛用于光學 PVD、濺射、半導體中試刻蝕、面板鍍膜腔體壓力控制。
型號釋義
G：G 系列 氣動伺服調(diào)節(jié)蝶閥（氣源驅(qū)動閉環(huán)，非電動）
J：JIS B2290 日標法蘭
200：公稱通徑 DN200（200A）
可定制更換法蘭：ISO?F、CF 刀口法蘭；密封可選 Kalrez 全氟醚抗等離子腐蝕密封。
結(jié)構(gòu)與工作原理
驅(qū)動：純氣動伺服機構(gòu)，無電機
依靠 0.4?0.6?MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣驅(qū)動；內(nèi)置閥位反饋電位器，輸出閥位信號，外接MGCS?11 真空壓力控制器組建完整 PID 閉環(huán)系統(tǒng)，自動調(diào)節(jié)蝶板開度穩(wěn)定腔體工藝壓力。
安全機制：單作用彈簧復位，失氣自動全關(guān)
氣源丟失彈簧強制關(guān)閉閥門，阻斷泵組?腔體通路，防止大氣倒灌污染基板、晶圓，滿足產(chǎn)線安全聯(lián)鎖。注意：無斷電抱閘，失氣直接全關(guān)，不能維持當前開度。
超薄大通導閥體
薄型法蘭面間尺寸，流導高，抽氣阻力小；無流向限制，水平、垂直、傾斜任意角度均可安裝。
球面多點雙向壓緊密封
正向、反向壓差均可維持低泄漏；啟閉摩擦小，低發(fā)塵，適配鍍膜、等離子工藝潔凈要求。
出廠檢測：百級潔凈室裝配，逐臺氦質(zhì)譜檢漏。
完整技術(shù)參數(shù)
表格
| 項目 | G?J200 JIS DN200 參數(shù) |
|---|---|
| 公稱通徑 | DN200（200A），JIS B2290 法蘭 |
| 壓力工作區(qū)間 | 1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內(nèi)漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅(qū)動氣源 | 0.4?0.6?MPa，干燥潔凈無油壓縮空氣；彈簧復位失氣關(guān)閉 |
| 開度調(diào)節(jié) | 0?90° 連續(xù)無級調(diào)節(jié)；閥位反饋輸出，對接 MGCS?11 閉環(huán)控制 |
| 過流材質(zhì) | 閥體、蝶板 SUS304，內(nèi)腔電解拋光 EP，低放氣低顆粒析出 |
| 標準密封 | FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等離子腐蝕 |
| 烘烤溫度 | FKM 密封最高 120℃；Kalrez 版本最高 150℃ |
| 機械壽命 | ≥100 萬次循環(huán) |
| 電氣選配 | 微動開關(guān)輸出全開 / 全關(guān)信號；閥位反饋信號輸出 |
| 配套控制器 | MGCS?11（主力）、MG?mini485 嵌入式控制器 |
鍍膜 / 刻蝕腔體典型應用場景
- 光學 PVD、磁控濺射鍍膜腔體作為主抽節(jié)流閥，搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規(guī) PID 閉環(huán)，穩(wěn)定濺射工藝壓力，抑制壓力波動，保障薄膜厚度均勻性，降低膜層針孔、色差不良。
- 半導體中試刻蝕、ICP 等離子腔體用于研發(fā)機臺、中試線刻蝕腔體排氣調(diào)壓；補償進氣、泵抽波動，穩(wěn)定等離子工作壓力。
?? 先進制程 8/12 寸量產(chǎn) Fab，對斷電保開度、極低顆粒嚴苛工況，優(yōu)先選用GAR?J200B 電動伺服帶抱閘型號；G?J200 氣源驅(qū)動適合中試、鍍膜、面板產(chǎn)線。
- 面板中小尺寸鍍膜腔體、反應離子清洗腔體中等口徑腔體排氣節(jié)流，氣源條件充足，不想布置電機線纜，簡化設(shè)備布線。
- 真空爐、鋰電脫氣腔體閉環(huán)穩(wěn)壓兼顧粗抽到高真空工藝段，失氣彈簧全關(guān)保護工件。
標準閉環(huán)控制成套方案
系統(tǒng)組成：G?J200 氣動伺服蝶閥 + MGCS?11 真空壓力控制器 + 電容薄膜真空規(guī)工作流程：真空規(guī)采集腔體壓力 → MGCS?11 執(zhí)行 PID 運算 → 輸出氣控驅(qū)動信號調(diào)整 G?J200 蝶板開度 →動態(tài)補償泵抽、進氣擾動，鎖定工藝壓力。MGCS?11 支持 7 組 PID 參數(shù)存儲，不同工藝工序自動切換，RS485 通訊對接上位 PLC。
選型區(qū)分（G?J200 VS GAR?J200B）
表格
| 項目 | G?J200（氣動伺服） | GAR?J200B（電動伺服） |
|---|---|---|
| 驅(qū)動 | 壓縮空氣驅(qū)動，無電機 | 伺服電機直驅(qū)，帶電磁抱閘?B |
| 斷電狀態(tài) | 失氣彈簧直接全關(guān) | 斷電抱閘，保持當前開度 |
| 適用定位 | 鍍膜、中試刻蝕、面板設(shè)備 | 半導體量產(chǎn)刻蝕、CVD、ALD 產(chǎn)線 |
| 布線 | 只需氣源，無需電機供電 | 需要供電，電機線纜布置 |
供貨與選型提示
供貨狀態(tài)：G?J200 屬于流通主力伺服閥，部分庫存；特殊密封、CF 法蘭版本日本原廠訂貨；可提供原廠規(guī)格書、氦檢報告、CE 證書。
選型避坑：請勿與普通開關(guān)蝶閥 B?J200 混淆；B?J200 僅開關(guān)，無開度調(diào)節(jié)功能，不能做閉環(huán)壓力控制。
提示：市場存在翻新二手閥，采購務(wù)必核對本體銘牌及原廠檢測資料。
