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MIYUKI 美幸輝 G?J100 JIS DN100 氣動伺服真空控制蝶閥玉科原裝供應
更新時間：2026-08-26
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MIYUKI 美幸輝 G?J100 JIS DN100 氣動伺服真空控制蝶閥（氣源驅動閉環）
原裝現貨供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司品牌負責人：林經理地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
型號：G?J100，JIS DN100（100A）氣動伺服調節蝶閥G 系列通用型氣源驅動伺服調節閥，無需伺服電機供電，0?90° 全行程無級開度調節；閥體緊湊小巧，性價比高，是中小腔體閉環調壓主力型號，廣泛用于小型 PVD 鍍膜、等離子腔體、科研實驗、鋰電、中試刻蝕設備壓力閉環控制。
型號釋義
G：G 系列 氣動伺服調節蝶閥（氣源驅動閉環，非電動）
J：JIS B2290 日標法蘭
100：公稱通徑 DN100（100A）
可定制更換法蘭：ISO?F、CF 刀口法蘭；密封可選 Kalrez 全氟醚抗等離子腐蝕密封。
結構與工作原理
驅動：純氣動伺服機構，無電機
0.4?0.6?MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣驅動；內置閥位反饋電位器輸出閥位信號，外接MGCS?11 真空壓力控制器構成 PID 閉環系統，自動調整蝶板開度穩定腔體工藝壓力。
安全機制：單作用彈簧復位，失氣自動全關
氣源丟失彈簧強制關閉閥門，隔離泵組與腔體，防止大氣倒灌污染基板、樣品；無斷電抱閘，失氣直接全關，不能維持當前開度。
緊湊超薄閥體
體積小巧，面間尺寸短，流導優秀；無流向限制，水平、垂直、傾斜任意角度均可安裝，適配設備內部狹小安裝空間。
球面多點雙向壓緊密封
正向、反向壓差工況均可保持低泄漏；啟閉摩擦小，低發塵，適配鍍膜、等離子潔凈工藝。
出廠檢測：百級潔凈室裝配，逐臺氦質譜檢漏。
完整技術參數
表格
| 項目 | G?J100 JIS DN100 參數 |
|---|---|
| 公稱通徑 | DN100（100A），JIS B2290 法蘭 |
| 壓力工作區間 | 1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅動氣源 | 0.4?0.6?MPa，干燥潔凈無油壓縮空氣；彈簧復位失氣關閉 |
| 開度調節 | 0?90° 連續無級調節；閥位反饋輸出，對接 MGCS?11 閉環控制 |
| 過流材質 | 閥體、蝶板 SUS304，內腔電解拋光 EP，低放氣低顆粒析出 |
| 標準密封 | FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等離子腐蝕 |
| 烘烤溫度 | FKM 密封最高 120℃；Kalrez 版本最高 150℃ |
| 機械壽命 | ≥100 萬次循環 |
| 電氣選配 | 微動開關輸出全開 / 全關信號；閥位反饋信號輸出 |
| 配套控制器 | MGCS?11（主力）、MG?mini485 嵌入式控制器 |
典型應用場景（通用型）
- 小型光學 PVD、磁控濺射鍍膜腔體作為主抽節流閥，搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規 PID 閉環，穩定濺射工藝壓力，保障薄膜均勻性。
- 半導體研發 / 中試等離子、小型 ICP 刻蝕腔體中小腔體排氣調壓，補償進氣、泵抽壓力波動；
??8/12 寸先進制程量產 Fab，需要斷電保持開度，優先選用GAR?J100B 電動伺服帶抱閘型號，G?J100 更適合研發樣機、中試設備。
- 高校科研真空實驗平臺、材料真空處理腔體實驗室高真空系統壓力閉環調節，設備布線簡單，只需要接入壓縮空氣氣源。
- 鋰電中型脫氣腔體、小型真空爐、等離子清洗腔體工藝段閉環穩壓，失氣彈簧全關保護工件。
標準閉環控制成套方案
系統組成：G?J100 氣動伺服蝶閥 + MGCS?11 真空壓力控制器 + 電容薄膜真空規工作流程：真空規采集腔體壓力 → MGCS?11 執行 PID 運算 →輸出氣控驅動信號調整 G?J100 蝶板開度 →動態補償泵抽、進氣擾動，鎖定工藝壓力。MGCS?11 支持 7 組 PID 參數存儲，不同工藝工序自動切換，RS485 通訊對接上位 PLC。
選型區分（G?J100 VS GAR?J100B）
表格
| 項目 | G?J100（氣動伺服） | GAR?J100B（電動伺服） |
|---|---|---|
| 驅動 | 壓縮空氣驅動，無電機 | 伺服電機直驅，帶電磁抱閘?B |
| 失氣 / 斷電狀態 | 失氣彈簧直接全關 | 斷電抱閘，保持當前開度 |
| 適用定位 | 鍍膜、研發中試、科研、鋰電設備 | 半導體量產刻蝕、CVD 產線 |
| 布線 | 只需氣源，無需電機供電 | 需要供電，電機線纜布置 |
供貨與選型提示
供貨狀態：G?J100 為 G 系列通用流通型號，常備部分原裝現貨；CF 法蘭、Kalrez 密封定制款日本原廠訂貨；可提供原廠規格書、氦檢報告、CE 證書。
選型避坑：不可與開關蝶閥 B?J100 混淆；B?J100 僅開關功能，無開度調節，不能做閉環壓力控制。
提示：市場存在翻新二手閥，采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。
