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更新時間:2026-08-27
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原裝供應:玉崎科學儀器(深圳)有限公司,品牌負責人林經(jīng)理 辦公地址:廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
B:兩位式氣動開關蝶閥,僅全開、全關,無中間調(diào)節(jié)開度
C:CF 刀口法蘭(超高真空法蘭,搭配無氧銅墊圈)
50:公稱通徑 CF50(DN50)
可定制:單作用彈簧復位(失氣自動全關);密封可選 Kalrez 全氟醚;可提供手動版本。
齒輪齒條氣缸驅(qū)動
標準雙作用氣缸,只有 0° 全關、90° 全開兩個機械位置,不可做 PID 調(diào)壓、不可慢抽;氣缸內(nèi)置氣墊緩沖,啟閉沖擊小,降低振動,減少密封圈磨損,適合反復啟閉科研工況。
CF 刀口法蘭超高真空密封
法蘭刀口擠壓無氧銅墊圈實現(xiàn)金屬密封,支持高溫烘烤除氣,適配無油超高真空系統(tǒng);閥體、蝶板 SUS304 鏡面電解拋光 EP,放氣率極低,適合表面分析、電子束、質(zhì)譜類設備。
閥位反饋:標配 2 路獨立微動開關,輸出全開、全關無源接點信號,對接 PLC 實現(xiàn)聯(lián)鎖保護。
??閥體最高烘烤溫度 200℃;氣缸執(zhí)行機構(gòu)環(huán)境溫度≤40℃,嚴禁烘烤氣缸。雙作用版本斷氣保持當前閥位;選型單作用彈簧復位,失氣自動全關,用于安全聯(lián)鎖,防止大氣倒灌損壞分子泵。
| 項目 | B?C50 CF50 參數(shù) |
|---|---|
| 公稱通徑 | CF50(DN50)刀口法蘭 |
| 真空工作區(qū)間 | 常壓~10??Pa 超高真空,雙向承壓 |
| 泄漏率 | 閥座內(nèi)漏 ≤1×10?? Pa?m3/s;軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s,氦檢出廠 |
| 驅(qū)動氣源 | 0.4?0.6MPa 潔凈無油壓縮空氣;標準雙作用,可選單作用彈簧復位 |
| 閥位模式 | 僅 0° 全關 /90° 全開,無中間開度,無慢抽功能 |
| 過流材質(zhì) | 閥體、蝶板 SUS304,內(nèi)腔鏡面電解拋光 EP |
| 標準密封 | 軸封 FKM 氟橡膠;法蘭端依靠無氧銅墊圈金屬密封;可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封 |
| 烘烤溫度 | 閥體最高 200℃;氣缸執(zhí)行器≤40℃,不可烘烤 |
| 機械壽命 | ≥100 萬次循環(huán),氣墊緩沖降噪 |
| 電氣信號 | 2 路微動開關:全開、全關閥位信號輸出 |
選型邊界區(qū)分:
B?C50(B 系列開關蝶閥):僅全開全關隔離切斷,金屬刀口法蘭,科研 UHV 系統(tǒng),無慢抽、無調(diào)壓;
BH?C50(BH 兩段緩抽閥):全關?慢抽?全開三機械檔位,用于需要預抽防沖擊的 CF 腔體;
BAR?C50(BAR 電動伺服蝶閥):0?90° 連續(xù)角度可調(diào),搭配 MGCS?11 實現(xiàn) PID 閉環(huán)穩(wěn)壓;
G?C50(G 氣動伺服蝶閥):氣源驅(qū)動連續(xù) PID 閉環(huán)調(diào)壓。
| 項目 | B?C50 兩位通斷蝶閥 | BH?C50 兩段緩抽蝶閥 | BAR?C50 電動伺服蝶閥 |
|---|---|---|---|
| 驅(qū)動 | 氣動雙作用(可選彈簧復位) | 雙氣缸氣動兩段式 | DC24V 伺服電機,可選?B 抱閘 |
| 閥位模式 | 只有全關、全開兩位置 | 全關?慢抽?全開三機械檔位 | 0?90° 連續(xù)角度可調(diào) |
| 控制能力 | 僅通斷隔離,無慢抽、無 PID | 機械檔位,可慢抽,不可 PID 閉環(huán) | 配 MGCS?11 實現(xiàn) PID 閉環(huán)穩(wěn)壓 |
| 適用定位 | 科研 UHV、分子泵隔離、腔體隔斷 | CF 腔體預抽,防樣品飛濺 | 科研鍍膜,需要連續(xù)壓力閉環(huán)穩(wěn)壓 |
供貨狀態(tài):B?C50 CF50 超高真空蝶閥,部分現(xiàn)貨;單作用彈簧復位、Kalrez 密封版本日本原廠訂貨;可提供原廠規(guī)格書、氦檢報告、CE 證書。
選型避坑:B?C50 是純開關閥,無慢抽、無調(diào)節(jié)功能;CF 法蘭必須配套無氧銅墊圈才能實現(xiàn)超高真空;不要和普通橡膠密封 KF 版本混淆。
提示:市面存在翻新二手閥,采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。