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MIYUKI 美幸輝 B?C50 CF50 超高真空通斷蝶閥科研無油系統玉科原裝供應
更新時間：2026-08-27
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MIYUKI 美幸輝 B?C50｜CF50 超高真空通斷蝶閥（科研無油系統）
原裝供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司，品牌負責人林經理 辦公地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
型號：B?C50，CF50 刀口法蘭兩位式氣動蝶閥B?C50 屬于 B 系列兩位開關蝶閥，CF 金屬刀口法蘭，配無氧銅銅墊圈實現超高真空密封，閥體超薄大流導，低放氣、低析出，僅具備全開 / 全關兩位置；用于無油科研真空系統、分子泵隔離、束線腔體、表面分析設備，只做管路隔離切斷，無調節、無慢抽功能。
型號釋義
B：兩位式氣動開關蝶閥，僅全開、全關，無中間調節開度
C：CF 刀口法蘭（超高真空法蘭，搭配無氧銅墊圈）
50：公稱通徑 CF50（DN50）
可定制：單作用彈簧復位（失氣自動全關）；密封可選 Kalrez 全氟醚；可提供手動版本。
結構與工作原理
齒輪齒條氣缸驅動
標準雙作用氣缸，只有 0° 全關、90° 全開兩個機械位置，不可做 PID 調壓、不可慢抽；氣缸內置氣墊緩沖，啟閉沖擊小，降低振動，減少密封圈磨損，適合反復啟閉科研工況。
CF 刀口法蘭超高真空密封
法蘭刀口擠壓無氧銅墊圈實現金屬密封，支持高溫烘烤除氣，適配無油超高真空系統；閥體、蝶板 SUS304 鏡面電解拋光 EP，放氣率極低，適合表面分析、電子束、質譜類設備。
閥位反饋：標配 2 路獨立微動開關，輸出全開、全關無源接點信號，對接 PLC 實現聯鎖保護。
??閥體最高烘烤溫度 200℃；氣缸執行機構環境溫度≤40℃，嚴禁烘烤氣缸。雙作用版本斷氣保持當前閥位；選型單作用彈簧復位，失氣自動全關，用于安全聯鎖，防止大氣倒灌損壞分子泵。
完整技術參數
表格
| 項目 | B?C50 CF50 參數 |
|---|---|
| 公稱通徑 | CF50（DN50）刀口法蘭 |
| 真空工作區間 | 常壓～10??Pa 超高真空，雙向承壓 |
| 泄漏率 | 閥座內漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅動氣源 | 0.4?0.6MPa 潔凈無油壓縮空氣；標準雙作用，可選單作用彈簧復位 |
| 閥位模式 | 僅 0° 全關 /90° 全開，無中間開度，無慢抽功能 |
| 過流材質 | 閥體、蝶板 SUS304，內腔鏡面電解拋光 EP |
| 標準密封 | 軸封 FKM 氟橡膠；法蘭端依靠無氧銅墊圈金屬密封；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封 |
| 烘烤溫度 | 閥體最高 200℃；氣缸執行器≤40℃，不可烘烤 |
| 機械壽命 | ≥100 萬次循環，氣墊緩沖降噪 |
| 電氣信號 | 2 路微動開關：全開、全關閥位信號輸出 |
典型應用場景（科研無油系統）
- 科研無油超高真空系統、分子泵隔離閥掃描電鏡、XPS、質譜、電子束蒸發設備，隔離分子泵，停機保護泵組，防止大氣倒灌污染腔體；CF 金屬密封適配烘烤除氣，無油系統低放氣需求。
- 束線設備、小型科研腔體總隔斷腔體維護時隔離泵組，不用整套系統放大氣；只做通斷隔離，不參與壓力調節。
- 小型薄膜實驗設備、小樣鍍膜、氦檢設備超高真空管路切斷，搭配旁路實現慢抽；本閥不具備慢抽能力，慢抽需要額外旁路閥 / BH 系列。
選型邊界區分：
B?C50（B 系列開關蝶閥）：僅全開全關隔離切斷，金屬刀口法蘭，科研 UHV 系統，無慢抽、無調壓；
BH?C50（BH 兩段緩抽閥）：全關?慢抽?全開三機械檔位，用于需要預抽防沖擊的 CF 腔體；
BAR?C50（BAR 電動伺服蝶閥）：0?90° 連續角度可調，搭配 MGCS?11 實現 PID 閉環穩壓；
G?C50（G 氣動伺服蝶閥）：氣源驅動連續 PID 閉環調壓。
系統配置方案
系統組成：B?C50 CF50 兩位通斷蝶閥 + 電磁閥 + PLC 聯鎖控制工作流程：PLC 控制電磁閥，實現閥門全開 / 全關；閥位開關反饋給 PLC 做互鎖邏輯；分子泵停機時關閉 B?C50，隔絕大氣保護泵組；如需慢抽預抽，需要額外配置旁路針閥或 BH 系列緩抽閥。
選型對比（B?C50 VS BH?C50 VS BAR?C50）
表格
| 項目 | B?C50 兩位通斷蝶閥 | BH?C50 兩段緩抽蝶閥 | BAR?C50 電動伺服蝶閥 |
|---|---|---|---|
| 驅動 | 氣動雙作用（可選彈簧復位） | 雙氣缸氣動兩段式 | DC24V 伺服電機，可選?B 抱閘 |
| 閥位模式 | 只有全關、全開兩位置 | 全關?慢抽?全開三機械檔位 | 0?90° 連續角度可調 |
| 控制能力 | 僅通斷隔離，無慢抽、無 PID | 機械檔位，可慢抽，不可 PID 閉環 | 配 MGCS?11 實現 PID 閉環穩壓 |
| 適用定位 | 科研 UHV、分子泵隔離、腔體隔斷 | CF 腔體預抽，防樣品飛濺 | 科研鍍膜，需要連續壓力閉環穩壓 |
供貨與選型提示
供貨狀態：B?C50 CF50 超高真空蝶閥，部分現貨；單作用彈簧復位、Kalrez 密封版本日本原廠訂貨；可提供原廠規格書、氦檢報告、CE 證書。
選型避坑：B?C50 是純開關閥，無慢抽、無調節功能；CF 法蘭必須配套無氧銅墊圈才能實現超高真空；不要和普通橡膠密封 KF 版本混淆。
提示：市面存在翻新二手閥，采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。
