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當前位置:首頁技術文章MIYUKI 美幸輝 B?C50 CF50 超高真空通斷蝶閥科研無油系統(tǒng)玉科原裝供應

MIYUKI 美幸輝 B?C50 CF50 超高真空通斷蝶閥科研無油系統(tǒng)玉科原裝供應

更新時間:2026-08-27點擊次數(shù):64

MIYUKI 美幸輝 B?C50|CF50 超高真空通斷蝶閥(科研無油系統(tǒng))

原裝供應:玉崎科學儀器(深圳)有限公司,品牌負責人林經(jīng)理  辦公地址:廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層

型號:B?C50,CF50 刀口法蘭兩位式氣動蝶閥
B?C50 屬于 B 系列兩位開關蝶閥,CF 金屬刀口法蘭,配無氧銅銅墊圈實現(xiàn)超高真空密封,閥體超薄大流導,低放氣、低析出,僅具備全開 / 全關兩位置;用于無油科研真空系統(tǒng)、分子泵隔離、束線腔體、表面分析設備,只做管路隔離切斷,無調(diào)節(jié)、無慢抽功能。

型號釋義

  • B:兩位式氣動開關蝶閥,僅全開、全關,無中間調(diào)節(jié)開度

  • C:CF 刀口法蘭(超高真空法蘭,搭配無氧銅墊圈)

  • 50:公稱通徑 CF50(DN50)

可定制:單作用彈簧復位(失氣自動全關);密封可選 Kalrez 全氟醚;可提供手動版本。

結(jié)構(gòu)與工作原理

  1. 齒輪齒條氣缸驅(qū)動

    標準雙作用氣缸,只有 0° 全關、90° 全開兩個機械位置,不可做 PID 調(diào)壓、不可慢抽;氣缸內(nèi)置氣墊緩沖,啟閉沖擊小,降低振動,減少密封圈磨損,適合反復啟閉科研工況。

  2. CF 刀口法蘭超高真空密封

    法蘭刀口擠壓無氧銅墊圈實現(xiàn)金屬密封,支持高溫烘烤除氣,適配無油超高真空系統(tǒng);閥體、蝶板 SUS304 鏡面電解拋光 EP,放氣率極低,適合表面分析、電子束、質(zhì)譜類設備。

  3. 閥位反饋:標配 2 路獨立微動開關,輸出全開、全關無源接點信號,對接 PLC 實現(xiàn)聯(lián)鎖保護。

??閥體最高烘烤溫度 200℃;氣缸執(zhí)行機構(gòu)環(huán)境溫度≤40℃,嚴禁烘烤氣缸。
雙作用版本斷氣保持當前閥位;選型單作用彈簧復位,失氣自動全關,用于安全聯(lián)鎖,防止大氣倒灌損壞分子泵。

完整技術參數(shù)

表格
項目B?C50 CF50 參數(shù)
公稱通徑CF50(DN50)刀口法蘭
真空工作區(qū)間常壓~10??Pa 超高真空,雙向承壓
泄漏率閥座內(nèi)漏 ≤1×10?? Pa?m3/s;軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s,氦檢出廠
驅(qū)動氣源0.4?0.6MPa 潔凈無油壓縮空氣;標準雙作用,可選單作用彈簧復位
閥位模式僅 0° 全關 /90° 全開,無中間開度,無慢抽功能
過流材質(zhì)閥體、蝶板 SUS304,內(nèi)腔鏡面電解拋光 EP
標準密封軸封 FKM 氟橡膠;法蘭端依靠無氧銅墊圈金屬密封;可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封
烘烤溫度閥體最高 200℃;氣缸執(zhí)行器≤40℃,不可烘烤
機械壽命≥100 萬次循環(huán),氣墊緩沖降噪
電氣信號2 路微動開關:全開、全關閥位信號輸出

典型應用場景(科研無油系統(tǒng))

  1. 科研無油超高真空系統(tǒng)、分子泵隔離閥
    掃描電鏡、XPS、質(zhì)譜、電子束蒸發(fā)設備,隔離分子泵,停機保護泵組,防止大氣倒灌污染腔體;CF 金屬密封適配烘烤除氣,無油系統(tǒng)低放氣需求。
  2. 束線設備、小型科研腔體總隔斷
    腔體維護時隔離泵組,不用整套系統(tǒng)放大氣;只做通斷隔離,不參與壓力調(diào)節(jié)。
  3. 小型薄膜實驗設備、小樣鍍膜、氦檢設備
    超高真空管路切斷,搭配旁路實現(xiàn)慢抽;本閥不具備慢抽能力,慢抽需要額外旁路閥 / BH 系列。
選型邊界區(qū)分:
  • B?C50(B 系列開關蝶閥):僅全開全關隔離切斷,金屬刀口法蘭,科研 UHV 系統(tǒng),無慢抽、無調(diào)壓;

  • BH?C50(BH 兩段緩抽閥):全關?慢抽?全開三機械檔位,用于需要預抽防沖擊的 CF 腔體;

  • BAR?C50(BAR 電動伺服蝶閥):0?90° 連續(xù)角度可調(diào),搭配 MGCS?11 實現(xiàn) PID 閉環(huán)穩(wěn)壓;

  • G?C50(G 氣動伺服蝶閥):氣源驅(qū)動連續(xù) PID 閉環(huán)調(diào)壓。

系統(tǒng)配置方案

系統(tǒng)組成:B?C50 CF50 兩位通斷蝶閥 + 電磁閥 + PLC 聯(lián)鎖控制
工作流程:PLC 控制電磁閥,實現(xiàn)閥門全開 / 全關;閥位開關反饋給 PLC 做互鎖邏輯;分子泵停機時關閉 B?C50,隔絕大氣保護泵組;如需慢抽預抽,需要額外配置旁路針閥或 BH 系列緩抽閥。

選型對比(B?C50 VS BH?C50 VS BAR?C50)

表格
項目B?C50 兩位通斷蝶閥BH?C50 兩段緩抽蝶閥BAR?C50 電動伺服蝶閥
驅(qū)動氣動雙作用(可選彈簧復位)雙氣缸氣動兩段式DC24V 伺服電機,可選?B 抱閘
閥位模式只有全關、全開兩位置全關?慢抽?全開三機械檔位0?90° 連續(xù)角度可調(diào)
控制能力僅通斷隔離,無慢抽、無 PID機械檔位,可慢抽,不可 PID 閉環(huán)配 MGCS?11 實現(xiàn) PID 閉環(huán)穩(wěn)壓
適用定位科研 UHV、分子泵隔離、腔體隔斷CF 腔體預抽,防樣品飛濺科研鍍膜,需要連續(xù)壓力閉環(huán)穩(wěn)壓

供貨與選型提示

  1. 供貨狀態(tài):B?C50 CF50 超高真空蝶閥,部分現(xiàn)貨;單作用彈簧復位、Kalrez 密封版本日本原廠訂貨;可提供原廠規(guī)格書、氦檢報告、CE 證書。

  2. 選型避坑:B?C50 是純開關閥,無慢抽、無調(diào)節(jié)功能;CF 法蘭必須配套無氧銅墊圈才能實現(xiàn)超高真空;不要和普通橡膠密封 KF 版本混淆。

提示:市面存在翻新二手閥,采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。


服務熱線
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