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更新時間:2026-08-27
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原裝供應:玉崎科學儀器(深圳)有限公司,品牌負責人林經理 公司地址:廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
B:兩位式氣動開關蝶閥,僅全開 / 全關,無調節功能
I:ISO?F 歐標真空法蘭
200:公稱通徑 DN200(200A)
可定制:JIS、KF、CF 刀口法蘭;密封升級 Kalrez (FFKM) 全氟醚適配等離子腐蝕工況;可選單作用彈簧失氣全關版本。
齒輪齒條氣缸驅動,雙作用標準型
僅 0° 全關、90° 全開兩個機械位置,無中間檔位,不能做 PID 調壓、不能做慢抽;氣缸兩端內置氣墊緩沖,啟閉沖擊小,降低振動與密封磨損,延長密封圈壽命。
閥位信號反饋:內置 2 路獨立微動開關,輸出全開、全關無源接點信號,直接對接 PLC 實現自動化聯鎖;可直觀反饋閥門實際狀態,防止誤判。
閥體超薄對夾結構:流導大,管路壓降小,適合大口徑主抽管路;SUS304 鏡面電解拋光 EP,潔凈室裝配,低放氣低析出,適配工業與半導體中高真空系統。
??注意:閥體支持最高 150℃烘烤;氣缸執行器環境溫度≤40℃,嚴禁烘烤氣缸組件。標準雙作用:斷氣保持當前閥位;選型單作用彈簧復位版本,失氣自動全關,用于安全聯鎖場景。
| 項目 | B?I200 ISO?F DN200 參數 |
|---|---|
| 公稱通徑 | DN200(200A)ISO?F 法蘭 |
| 真空工作區間 | 1×10?Pa(常壓)~1×10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內漏 ≤1×10?? Pa?m3/s;軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s,氦檢出廠 |
| 驅動氣源 | 0.4?0.6MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣;標準雙作用,可選單作用彈簧復位 |
| 閥位模式 | 僅 0° 全關 /90° 全開,無中間開度、無慢抽功能 |
| 過流材質 | 閥體、蝶板 SUS304,內腔鏡面電解拋光 EP |
| 標準密封 | FKM 氟橡膠,?25~120℃;可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封 |
| 烘烤溫度 | 閥體最高 150℃;氣缸執行器≤40℃,不可烘烤 |
| 機械壽命 | ≥100 萬次循環,氣墊緩沖降噪 |
| 電氣信號 | 2 路微動開關:全開、全關閥位信號輸出 |
選型邊界區分:
B?I200(B 系列開關蝶閥):只做全開全關隔離切斷,無慢抽、無調壓功能;
BH?I200(BH 兩段緩抽閥):全關?慢抽?全開三機械檔位,用于防飛濺預抽;
BAR?I200(BAR 電動伺服蝶閥):0?90° 連續角度可調,配 MGCS?11 實現 PID 閉環穩壓;
G?I200(G 氣動伺服蝶閥):氣源驅動連續 PID 閉環調壓。
| 項目 | B?I200 兩位通斷蝶閥 | BH?I200 兩段緩抽蝶閥 | BAR?I200 電動伺服蝶閥 |
|---|---|---|---|
| 驅動 | 氣動雙作用(可選彈簧復位) | 雙氣缸氣動兩段式 | DC24V 伺服電機,可選?B 抱閘 |
| 閥位模式 | 只有全關、全開兩位置 | 全關?慢抽?全開三機械檔位 | 0?90° 連續角度可調 |
| 控制能力 | 僅通斷隔離,無慢抽、無 PID | 機械檔位,可慢抽,不可 PID 閉環 | 配 MGCS?11 實現 PID 閉環穩壓 |
| 適用定位 | 分子泵隔離、腔體總隔斷 | 大腔體預抽,防物料飛濺 | 鍍膜、鋰電,連續壓力閉環穩壓 |
供貨狀態:B?I200 大口徑開關蝶閥,部分現貨;Kalrez 密封、單作用彈簧復位版本日本原廠訂貨;可提供原廠規格書、氦檢報告、CE 證書。
選型避坑:B?I200 是純開關閥,無慢抽、無調節功能;工藝需要慢抽必須選用 BH 系列;需要壓力閉環選用 BAR/G/GAR 伺服系列。
提示:市面存在翻新二手閥,采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。