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MIYUKI 美幸輝 B?I200 ISO?F DN200 兩位通斷氣動蝶閥玉科原裝供應

更新時間:2026-08-27點擊次數:50

MIYUKI 美幸輝 B?I200|ISO?F DN200 兩位通斷氣動蝶閥(分子泵隔離 / 腔體總隔斷)

原裝供應:玉崎科學儀器(深圳)有限公司,品牌負責人林經理  公司地址:廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層

型號:B?I200,ISO?F DN200(200A)兩位式氣動蝶閥B 系列為純開關通斷閥,只有全關、全開兩個位置,無任何中間調節開度;超薄閥體,大流導,低放塵,主打管路隔離切斷;用于分子泵隔離閥、腔體總隔斷、主抽回路通斷,不做壓力調節、慢抽控制。

型號釋義

  • B:兩位式氣動開關蝶閥,僅全開 / 全關,無調節功能

  • I:ISO?F 歐標真空法蘭

  • 200:公稱通徑 DN200(200A)

可定制:JIS、KF、CF 刀口法蘭;密封升級 Kalrez (FFKM) 全氟醚適配等離子腐蝕工況;可選單作用彈簧失氣全關版本。

結構與工作原理

  1. 齒輪齒條氣缸驅動,雙作用標準型

    僅 0° 全關、90° 全開兩個機械位置,無中間檔位,不能做 PID 調壓、不能做慢抽;氣缸兩端內置氣墊緩沖,啟閉沖擊小,降低振動與密封磨損,延長密封圈壽命。

  2. 閥位信號反饋:內置 2 路獨立微動開關,輸出全開、全關無源接點信號,直接對接 PLC 實現自動化聯鎖;可直觀反饋閥門實際狀態,防止誤判。

  3. 閥體超薄對夾結構:流導大,管路壓降小,適合大口徑主抽管路;SUS304 鏡面電解拋光 EP,潔凈室裝配,低放氣低析出,適配工業與半導體中高真空系統。

??注意:閥體支持最高 150℃烘烤;氣缸執行器環境溫度≤40℃,嚴禁烘烤氣缸組件。標準雙作用:斷氣保持當前閥位;選型單作用彈簧復位版本,失氣自動全關,用于安全聯鎖場景。

完整技術參數

表格
項目B?I200 ISO?F DN200 參數
公稱通徑DN200(200A)ISO?F 法蘭
真空工作區間1×10?Pa(常壓)~1×10??Pa 高真空
泄漏率閥座內漏 ≤1×10?? Pa?m3/s;軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s,氦檢出廠
驅動氣源0.4?0.6MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣;標準雙作用,可選單作用彈簧復位
閥位模式僅 0° 全關 /90° 全開,無中間開度、無慢抽功能
過流材質閥體、蝶板 SUS304,內腔鏡面電解拋光 EP
標準密封FKM 氟橡膠,?25~120℃;可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封
烘烤溫度閥體最高 150℃;氣缸執行器≤40℃,不可烘烤
機械壽命≥100 萬次循環,氣墊緩沖降噪
電氣信號2 路微動開關:全開、全關閥位信號輸出

典型應用場景(分子泵隔離 / 腔體總隔斷)

  1. 分子泵、渦輪泵前泵閥類端隔離閥停機隔離分子泵,防止大氣倒灌沖擊泵體;泵維護檢修時切斷腔體與泵組,保障腔體真空狀態。
  2. 大型真空腔體總隔斷、主抽管路通斷鋰電、光伏、大型鍍膜設備主回路切斷;腔體維護時隔離泵組,不用整臺停機;適配歐美進口 ISO?F 法蘭設備改造替換。
  3. PVD、卷繞鍍膜、熱處理爐主管路切斷只做通斷隔離,不參與壓力調節;搭配旁路閥、慢抽閥實現完整抽氣時序。
選型邊界區分:
  • B?I200(B 系列開關蝶閥):只做全開全關隔離切斷,無慢抽、無調壓功能

  • BH?I200(BH 兩段緩抽閥):全關?慢抽?全開三機械檔位,用于防飛濺預抽;

  • BAR?I200(BAR 電動伺服蝶閥):0?90° 連續角度可調,配 MGCS?11 實現 PID 閉環穩壓;

  • G?I200(G 氣動伺服蝶閥):氣源驅動連續 PID 閉環調壓。

系統配置方案

系統組成:B?I200 兩位通斷蝶閥 + 電磁閥 + PLC 聯鎖控制工作流程:PLC 控制電磁閥,實現閥門全開 / 全關;閥位開關反饋給 PLC 做互鎖邏輯;分子泵停機時關閉 B?I200,隔絕大氣保護泵組;如需慢抽預抽,需要額外配置 BH 系列緩抽閥或者旁路針閥。

選型對比(B?I200 VS BH?I200 VS BAR?I200)

表格
項目B?I200 兩位通斷蝶閥BH?I200 兩段緩抽蝶閥BAR?I200 電動伺服蝶閥
驅動氣動雙作用(可選彈簧復位)雙氣缸氣動兩段式DC24V 伺服電機,可選?B 抱閘
閥位模式只有全關、全開兩位置全關?慢抽?全開三機械檔位0?90° 連續角度可調
控制能力僅通斷隔離,無慢抽、無 PID機械檔位,可慢抽,不可 PID 閉環配 MGCS?11 實現 PID 閉環穩壓
適用定位分子泵隔離、腔體總隔斷大腔體預抽,防物料飛濺鍍膜、鋰電,連續壓力閉環穩壓

供貨與選型提示

  1. 供貨狀態:B?I200 大口徑開關蝶閥,部分現貨;Kalrez 密封、單作用彈簧復位版本日本原廠訂貨;可提供原廠規格書、氦檢報告、CE 證書。

  2. 選型避坑:B?I200 是純開關閥,無慢抽、無調節功能;工藝需要慢抽必須選用 BH 系列;需要壓力閉環選用 BAR/G/GAR 伺服系列。

提示:市面存在翻新二手閥,采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。


服務熱線
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