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MIYUKI 美幸輝G?N63 KF63 快裝氣動伺服真空控制蝶閥玉崎科學儀器原裝供應
更新時間：2026-09-02
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MIYUKI 美幸輝 G?N63｜KF63 快裝氣動伺服真空控制蝶閥（氣源驅動閉環(huán)）
原裝現(xiàn)貨供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司品牌負責人：林經(jīng)理地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
型號：G?N63，KF63 (NW63) 快卸法蘭 氣動伺服調節(jié)蝶閥G 系列小口徑氣源驅動伺服調節(jié)閥，無需伺服電機供電，0?90° 全行程無級開度調節(jié)；采用通用 KF 快拆法蘭，拆裝維護便捷，閥體小巧緊湊，主打小型腔體、高校實驗室、研發(fā)樣機精密真空閉環(huán)調壓，廣泛用于小型 PVD、等離子實驗腔體、材料科研、分析儀器真空管路。
型號釋義
G：G 系列 氣動伺服調節(jié)蝶閥（氣源驅動閉環(huán)，非電動）
N：KF (NW) 快卸真空法蘭
63：公稱通徑 KF63（NW63）
可定制更換法蘭：JIS、ISO?F、CF 刀口法蘭；密封可選 Kalrez 全氟醚抗等離子腐蝕密封。
結構與工作原理
驅動：純氣動伺服機構，無電機
0.4?0.6?MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣驅動；內置閥位反饋電位器輸出閥位信號，外接MGCS?11 真空壓力控制器組建 PID 閉環(huán)系統(tǒng)，自動調整蝶板開度穩(wěn)定腔體工藝壓力。
安全機制：單作用彈簧復位，失氣自動全關
氣源丟失彈簧強制關閉閥門，隔離泵組與腔體，防止大氣倒灌污染樣品；無電磁抱閘，失氣直接全關，不能維持當前開度。
緊湊小型閥體，KF 快裝接口
體積小巧，占用設備空間小；KF 快卸法蘭，拆裝無需大量螺栓，檢修、更換管路便捷；無流向限制，水平、垂直、傾斜任意角度均可安裝。
球面多點雙向壓緊密封
正向、反向壓差工況均可保持低泄漏；啟閉摩擦小，低發(fā)塵，適配科研潔凈實驗工況。
出廠檢測：百級潔凈室裝配，逐臺氦質譜檢漏。
完整技術參數(shù)
| 項目 | G?N63 KF63 參數(shù) |
|---|---|
| 公稱通徑 | KF63（NW63）快卸法蘭 |
| 壓力工作區(qū)間 | 1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅動氣源 | 0.4?0.6?MPa，干燥潔凈無油壓縮空氣；彈簧復位失氣關閉 |
| 開度調節(jié) | 0?90° 連續(xù)無級調節(jié)；閥位反饋輸出，對接 MGCS?11 閉環(huán)控制 |
| 過流材質 | 閥體、蝶板 SUS304，內腔電解拋光 EP，低放氣低顆粒析出 |
| 標準密封 | FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等離子腐蝕 |
| 烘烤溫度 | FKM 密封最高 120℃；Kalrez 版本最高 150℃ |
| 機械壽命 | ≥100 萬次循環(huán) |
| 電氣選配 | 微動開關輸出全開 / 全關信號；閥位反饋信號輸出 |
| 配套控制器 | MGCS?11（主力）、MG?mini485 嵌入式控制器 |
典型應用場景（小型腔體 / 實驗室精密調壓）
- 高校、科研院所實驗真空腔體材料真空處理、等離子實驗、小型鍍膜樣機；KF 快拆法蘭方便腔體拆裝改造，只需要接入壓縮空氣，不用布置電機供電線路，實驗室設備改造友好。
- 小型 PVD、小型等離子清洗、研發(fā)型 ICP 樣機中小腔體排氣節(jié)流，搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規(guī) PID 閉環(huán)，穩(wěn)定工藝等離子壓力。
??8/12 寸半導體量產(chǎn)產(chǎn)線，要求斷電保持閥位，優(yōu)先選用BAR?N63 電動伺服帶抱閘型號；G?N63 氣源驅動更適合研發(fā)樣機、實驗室設備。
- 分析儀器、特種小型真空設備儀器內部管路流導調節(jié)，設備內部安裝空間受限場景。
- 鋰電小型實驗腔體、小批量中試設備小型工藝腔體閉環(huán)穩(wěn)壓，失氣彈簧全關保護樣品。
標準閉環(huán)控制成套方案
系統(tǒng)組成：G?N63 氣動伺服蝶閥 + MGCS?11 真空壓力控制器 + 電容薄膜真空規(guī)工作流程：真空規(guī)采集腔體壓力 → MGCS?11 執(zhí)行 PID 運算 →輸出氣控驅動信號調整 G?N63 蝶板開度 →動態(tài)補償泵抽、進氣擾動，鎖定工藝壓力。MGCS?11 支持 7 組 PID 參數(shù)存儲，不同工藝工序自動切換，RS485 通訊對接上位 PLC。
選型區(qū)分（G?N63 VS BAR?N63）
表格
| 項目 | G?N63（氣動伺服） | BAR?N63（電動伺服） |
|---|---|---|
| 驅動 | 壓縮空氣驅動，無電機 | 伺服電機直驅，可選電磁抱閘 |
| 失氣 / 斷電狀態(tài) | 失氣彈簧直接全關 | 斷電抱閘，保持當前開度 |
| 適用定位 | 實驗室、研發(fā)樣機、小型設備 | 量產(chǎn)設備，需要斷電保閥位工況 |
| 布線 | 只需氣源，無需電機供電 | 需要 DC24V 供電，電機線纜布置 |
供貨與選型提示
供貨狀態(tài)：G?N63 屬于 G 系列小口徑流通型號，常備部分原裝現(xiàn)貨；CF 法蘭、Kalrez 密封定制款日本原廠訂貨；可提供原廠規(guī)格書、氦檢報告、CE 證書。
選型避坑：不可與開關蝶閥 B?N63 混淆；B?N63 僅開關功能，無開度調節(jié)，不能做閉環(huán)壓力控制。
提示：市場存在翻新二手閥，采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。
