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MIYUKI 美幸輝 G?C80 CF80 超高真空氣動(dòng)伺服真空控制蝶閥玉科原裝供應(yīng)
更新時(shí)間：2026-09-02
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MIYUKI 美幸輝 G?C80｜CF80 超高真空氣動(dòng)伺服真空控制蝶閥（氣源驅(qū)動(dòng)閉環(huán)）
原裝現(xiàn)貨供應(yīng)：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司品牌負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號(hào)電商集團(tuán) 7 樓整層
型號(hào)釋義
G：G 系列 氣動(dòng)伺服調(diào)節(jié)蝶閥（氣源驅(qū)動(dòng)閉環(huán)，非電動(dòng)）
C：CF 刀口超高真空法蘭（無氧銅墊片金屬密封，支持烘烤）
80：公稱通徑 CF80（DN80）
可定制變更法蘭：JIS、ISO?F、KF；密封可選 Kalrez 全氟醚，適配等離子、腐蝕工藝氣體。
結(jié)構(gòu)與工作原理
驅(qū)動(dòng)：純氣動(dòng)伺服機(jī)構(gòu)，無電機(jī)
0.4?0.6?MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣驅(qū)動(dòng)；內(nèi)置閥位反饋電位器輸出閥位信號(hào)，外接MGCS?11 真空壓力控制器組建 PID 閉環(huán)系統(tǒng)，自動(dòng)調(diào)整蝶板開度穩(wěn)定超高真空腔體工藝壓力。
安全機(jī)制：單作用彈簧復(fù)位，失氣自動(dòng)全關(guān)
氣源丟失彈簧強(qiáng)制關(guān)閉閥門，隔離腔體與分子泵，防止大氣倒灌污染超高真空腔體內(nèi)部樣品；無電磁抱閘，失氣直接全關(guān)，不能維持當(dāng)前開度。
CF 刀口法蘭，支持高溫烘烤除氣
CF 刀口法蘭配無氧銅金屬密封墊圈，閥體部分允許烘烤除氣；注意：氣動(dòng)執(zhí)行器氣缸部分不可烘烤，烘烤時(shí)需隔離執(zhí)行機(jī)構(gòu)，適合科研超高真空系統(tǒng)除氣需求。
球面多點(diǎn)雙向壓緊密封
正向、反向壓差均可維持超高真空等級(jí)低泄漏；啟閉摩擦小，低發(fā)塵、低放氣，適配超高真空潔凈科研工況。
出廠檢測(cè)：百級(jí)潔凈室裝配，逐臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏。
完整技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | G?C80 CF80 參數(shù) |
|---|---|
| 公稱通徑 | CF80（DN80）刀口法蘭，無氧銅墊片密封 |
| 壓力工作區(qū)間 | 1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 超高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內(nèi)漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅(qū)動(dòng)氣源 | 0.4?0.6?MPa，干燥潔凈無油壓縮空氣；彈簧復(fù)位失氣關(guān)閉 |
| 開度調(diào)節(jié) | 0?90° 連續(xù)無級(jí)調(diào)節(jié)；閥位反饋輸出，對(duì)接 MGCS?11 閉環(huán)控制 |
| 過流材質(zhì) | 閥體、蝶板 SUS304，內(nèi)腔鏡面電解拋光 EP，極低放氣低顆粒析出 |
| 標(biāo)準(zhǔn)密封 | FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等離子腐蝕 |
| 烘烤溫度 | 閥體* 150℃烘烤除氣；氣動(dòng)氣缸執(zhí)行器環(huán)境溫度≤50℃，禁止烘烤氣缸 |
| 機(jī)械壽命 | ≥100 萬次循環(huán) |
| 電氣選配 | 微動(dòng)開關(guān)輸出全開 / 全關(guān)信號(hào)；閥位反饋信號(hào)輸出 |
| 配套控制器 | MGCS?11（主力）、MG?mini485 嵌入式控制器 |
典型應(yīng)用場(chǎng)景（科研 / 分子泵前端）
- 科研超高真空腔體、分子束外延 MBE、表面物理實(shí)驗(yàn)平臺(tái)CF 法蘭原生適配超高真空系統(tǒng)，閥體可烘烤除氣，搭配 MGCS?11 實(shí)現(xiàn)超高真空區(qū)間精密閉環(huán)調(diào)壓；僅需氣源，無需電機(jī)布線，科研設(shè)備改造友好。
- 分子泵前端節(jié)流調(diào)壓（分子泵泵口管路）安裝于分子泵與工藝腔體之間，動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)流導(dǎo)，穩(wěn)定腔體工藝壓力；氣源故障彈簧自動(dòng)關(guān)閉，保護(hù)分子泵避免大氣沖擊損壞。
??分子泵不可承受大氣壓，系統(tǒng)必須做好整機(jī)聯(lián)鎖保護(hù)。
小型超高真空 PVD、電子束蒸發(fā)、分析儀器真空腔體
小口徑超高真空排氣節(jié)流，補(bǔ)償進(jìn)氣、泵抽波動(dòng)，穩(wěn)定薄膜制備、材料分析工藝壓力。
??8/12 寸半導(dǎo)體量產(chǎn)產(chǎn)線，需要斷電保持閥位，優(yōu)先選用BAR?C80 電動(dòng)伺服帶抱閘型號(hào)；G?C80 氣源驅(qū)動(dòng)更適合高校科研、實(shí)驗(yàn)室樣機(jī)。
標(biāo)準(zhǔn)閉環(huán)控制成套方案
選型區(qū)分（G?C80 VS BAR?C80）
| 項(xiàng)目 | G?C80（氣動(dòng)伺服） | BAR?C80（電動(dòng)伺服） |
|---|---|---|
| 驅(qū)動(dòng) | 壓縮空氣驅(qū)動(dòng)，無電機(jī) | 伺服電機(jī)直驅(qū)，可選電磁抱閘?B |
| 失氣 / 斷電狀態(tài) | 失氣彈簧直接全關(guān) | 斷電抱閘，保持當(dāng)前開度 |
| 適用定位 | 科研實(shí)驗(yàn)室、分子泵前端、超高真空樣機(jī) | 量產(chǎn)設(shè)備，需要斷電保閥位工況 |
| 布線 | 只需氣源，無需電機(jī)供電 | 需要 DC24V 供電，電機(jī)線纜布置 |
供貨與選型提示
供貨狀態(tài)：G?C80 屬于 CF 超高真空特種伺服閥，國內(nèi)現(xiàn)貨少，多為日本原廠訂貨；可提供原廠規(guī)格書、氦檢報(bào)告、CE 證書；支持 Kalrez 密封定制。
選型避坑：不可與開關(guān)蝶閥 B?C80 混淆；B?C80 僅開關(guān)功能，無開度調(diào)節(jié)，不能做閉環(huán)壓力控制；烘烤作業(yè)務(wù)必隔離氣動(dòng)氣缸執(zhí)行機(jī)構(gòu)，不可一同加熱。
提示：市場(chǎng)存在翻新二手閥，采購務(wù)必核對(duì)本體銘牌以及原廠檢測(cè)資料。
