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MIYUKI 美幸輝 G?C80 CF80 超高真空氣動伺服真空控制蝶閥玉科原裝供應
更新時間：2026-09-02
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MIYUKI 美幸輝 G?C80｜CF80 超高真空氣動伺服真空控制蝶閥（氣源驅動閉環）
原裝現貨供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司品牌負責人：林經理地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
型號：G?C80，CF80（DN80）刀口法蘭 氣動伺服調節蝶閥G 系列超高真空專用氣源驅動伺服調節閥，無伺服電機，純壓縮空氣驅動，0?90° 全行程無級開度調節；采用 CF 刀口金屬密封法蘭，支持腔體高溫烘烤除氣，低放氣、超低泄漏，主要用于科研超高真空系統、分子泵前端管路、小型超高真空腔體精密壓力閉環調壓，適配分子束外延、表面分析、科研樣機等高要求工況。
型號釋義
G：G 系列 氣動伺服調節蝶閥（氣源驅動閉環，非電動）
C：CF 刀口超高真空法蘭（無氧銅墊片金屬密封，支持烘烤）
80：公稱通徑 CF80（DN80）
可定制變更法蘭：JIS、ISO?F、KF；密封可選 Kalrez 全氟醚，適配等離子、腐蝕工藝氣體。
結構與工作原理
驅動：純氣動伺服機構，無電機
0.4?0.6?MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣驅動；內置閥位反饋電位器輸出閥位信號，外接MGCS?11 真空壓力控制器組建 PID 閉環系統，自動調整蝶板開度穩定超高真空腔體工藝壓力。
安全機制：單作用彈簧復位，失氣自動全關
氣源丟失彈簧強制關閉閥門，隔離腔體與分子泵，防止大氣倒灌污染超高真空腔體內部樣品；無電磁抱閘，失氣直接全關，不能維持當前開度。
CF 刀口法蘭，支持高溫烘烤除氣
CF 刀口法蘭配無氧銅金屬密封墊圈，閥體部分允許烘烤除氣；注意：氣動執行器氣缸部分不可烘烤，烘烤時需隔離執行機構，適合科研超高真空系統除氣需求。
球面多點雙向壓緊密封
正向、反向壓差均可維持超高真空等級低泄漏；啟閉摩擦小，低發塵、低放氣，適配超高真空潔凈科研工況。
出廠檢測：百級潔凈室裝配，逐臺氦質譜檢漏。
完整技術參數
表格
| 項目 | G?C80 CF80 參數 |
|---|---|
| 公稱通徑 | CF80（DN80）刀口法蘭，無氧銅墊片密封 |
| 壓力工作區間 | 1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 超高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅動氣源 | 0.4?0.6?MPa，干燥潔凈無油壓縮空氣；彈簧復位失氣關閉 |
| 開度調節 | 0?90° 連續無級調節；閥位反饋輸出，對接 MGCS?11 閉環控制 |
| 過流材質 | 閥體、蝶板 SUS304，內腔鏡面電解拋光 EP，極低放氣低顆粒析出 |
| 標準密封 | FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等離子腐蝕 |
| 烘烤溫度 | 閥體* 150℃烘烤除氣；氣動氣缸執行器環境溫度≤50℃，禁止烘烤氣缸 |
| 機械壽命 | ≥100 萬次循環 |
| 電氣選配 | 微動開關輸出全開 / 全關信號；閥位反饋信號輸出 |
| 配套控制器 | MGCS?11（主力）、MG?mini485 嵌入式控制器 |
典型應用場景（科研 / 分子泵前端）
- 科研超高真空腔體、分子束外延 MBE、表面物理實驗平臺CF 法蘭原生適配超高真空系統，閥體可烘烤除氣，搭配 MGCS?11 實現超高真空區間精密閉環調壓；僅需氣源，無需電機布線，科研設備改造友好。
- 分子泵前端節流調壓（分子泵泵口管路）安裝于分子泵與工藝腔體之間，動態調節流導，穩定腔體工藝壓力；氣源故障彈簧自動關閉，保護分子泵避免大氣沖擊損壞。
??分子泵不可承受大氣壓，系統必須做好整機聯鎖保護。
小型超高真空 PVD、電子束蒸發、分析儀器真空腔體
小口徑超高真空排氣節流，補償進氣、泵抽波動，穩定薄膜制備、材料分析工藝壓力。
??8/12 寸半導體量產產線，需要斷電保持閥位，優先選用BAR?C80 電動伺服帶抱閘型號；G?C80 氣源驅動更適合高校科研、實驗室樣機。
標準閉環控制成套方案
系統組成：G?C80 氣動伺服蝶閥 + MGCS?11 真空壓力控制器 + 電容薄膜真空規 / 電離真空計工作流程：真空規采集腔體壓力 → MGCS?11 執行 PID 運算 →輸出氣控驅動信號調整 G?C80 蝶板開度 →動態補償泵抽、進氣擾動，鎖定工藝壓力。MGCS?11 支持 7 組 PID 參數存儲，RS485 通訊對接上位 PLC。
選型區分（G?C80 VS BAR?C80）
表格
| 項目 | G?C80（氣動伺服） | BAR?C80（電動伺服） |
|---|---|---|
| 驅動 | 壓縮空氣驅動，無電機 | 伺服電機直驅，可選電磁抱閘?B |
| 失氣 / 斷電狀態 | 失氣彈簧直接全關 | 斷電抱閘，保持當前開度 |
| 適用定位 | 科研實驗室、分子泵前端、超高真空樣機 | 量產設備，需要斷電保閥位工況 |
| 布線 | 只需氣源，無需電機供電 | 需要 DC24V 供電，電機線纜布置 |
供貨與選型提示
供貨狀態：G?C80 屬于 CF 超高真空特種伺服閥，國內現貨少，多為日本原廠訂貨；可提供原廠規格書、氦檢報告、CE 證書；支持 Kalrez 密封定制。
選型避坑：不可與開關蝶閥 B?C80 混淆；B?C80 僅開關功能，無開度調節，不能做閉環壓力控制；烘烤作業務必隔離氣動氣缸執行機構，不可一同加熱。
提示：市場存在翻新二手閥，采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。
