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MIYUKI美幸輝GAR?I160B ISO?F DN160 電動伺服閘板式真空調節大流量低放塵
更新時間：2026-09-02
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MIYUKI 美幸輝 GAR?I160B｜ISO?F DN160 電動伺服閘板式真空調節閥（大流量、低放塵）
原裝現貨供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司品牌負責人：林經理地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層
型號：GAR?I160B，ISO?F DN160（160A）電動伺服閘板式調節閥GAR 系列量產級閘板式伺服閥，DC24V 伺服電機直驅，?B 內置電磁抱閘斷電鎖止閥位，0?* 全行程連續無級開度調節；閘板全開退出氣流通道，大通流、低放氣、低發塵，采用國際通用 ISO?F 法蘭，適配歐美系真空管路，面向半導體刻蝕、PVD/CVD 鍍膜、面板、大型中試腔體主抽管路閉環穩壓。
型號釋義
GAR：升降閘板式電動伺服調節閥，閘板全開脫離流道，低顆粒，調壓性能優于 BAR 蝶板式
I：ISO?F 國際標準真空法蘭
160：公稱通徑 DN160（160A）
B：內置電磁抱閘剎車，斷電鎖止當前閥位，不會直接全關，規避基板、晶圓批量報廢風險
可定制：JIS、CF 刀口法蘭；?K 后綴升級 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封適配等離子腐蝕工況。
結構與工作原理
伺服直驅閘板式結構，零背隙
伺服電機直驅升降閘板，無齒輪傳動間隙；全開閘板撤離流道，流阻極低；取消金屬滑動摩擦副，*限度降低顆粒生成，滿足 SEMI 潔凈制程；微小開度調節穩定性優異，閥位重復定位精度高。
?B 電磁抱閘斷電鎖止（核心安全特性）
斷電瞬間電磁剎車鎖死閘板，保持斷電前原有開度，不會直接關閉管路，避免工藝壓力突變造成基板不良；可按需定制斷電強制全關版本，適配產線聯鎖邏輯。
信號接口：0?10V /4?20mA 模擬量、閥位反饋輸出、RS485 通訊；搭配MGCS?11 真空壓力控制器組成 PID 閉環控制系統。
裝配檢測：百級潔凈室組裝，每臺氦質譜檢漏出廠；無流向限制，水平、垂直任意角度可安裝。
??注意：閥體支持烘烤除氣；伺服電機驅動頭部環境溫度≤40℃，嚴禁烘烤電機組件。
完整技術參數
表格
| 項目 | GAR?I160B ISO?F DN160 參數 |
|---|---|
| 公稱通徑 | DN160（160A），ISO?F 法蘭 |
| 工作壓力區間 | 1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅動供電 | DC24V 伺服電機直驅，?B 電磁抱閘斷電鎖止閥位 |
| 開度調節 | 0?* 全行程連續無級調節，閥位反饋輸出 |
| 過流材質 | 閥體、閘板 SUS304，內腔鏡面電解拋光 EP，低放氣、低顆粒析出 |
| 標準密封 | FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚抗等離子腐蝕密封 |
| 烘烤溫度 | 閥體* 150℃；伺服電機頭部≤40℃，不可烘烤 |
| 機械壽命 | ≥100 萬次循環，低震動低噪音 |
| 電氣信號 | 0?10V/4?20mA 模擬量；RS485 通訊；全開全關到位信號輸出 |
| 配套控制器 | MGCS?11、MG?mini485、MS?VP |
典型應用場景（大流量、低放塵）
- 半導體、面板 PVD 磁控濺射、CVD 腔體主抽調壓搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規 PID 閉環，穩定濺射工藝壓力；斷電抱閘鎖止閥位，杜絕斷電壓力波動導致基板不良；閘板式低顆粒結構，保障薄膜均勻性，減少針孔、色差缺陷。
- 半導體中試刻蝕、離子注入腔體中等大流量排氣工況，工藝不允許失電直接切斷管路，需要斷電保持閥位安全機制。
- 光伏大面積鍍膜、大型科研真空樣機ISO?F 法蘭匹配國內、歐美設備管路標準，大通流兼顧精密調壓；適配材料處理、電子束蒸發設備。
選型邊界：
GAR?I160B（電動閘板?B 抱閘）：半導體、面板量產 / 中試產線，斷電需保持閥位優先選用；
G?I160（氣動伺服蝶閥）：鋰電、光伏、普通工業鍍膜，氣源充足，允許失氣彈簧全關，成本更優。
標準閉環控制成套方案
系統組成：GAR?I160B 電動伺服閘閥 + MGCS?11 真空壓力控制器 + 電容薄膜真空規工作流程：真空規采集腔體壓力 → MGCS?11 執行 PID 運算 →輸出控制信號驅動 GAR?I160B 伺服電機調整閘板開度 →動態補償進氣、泵抽擾動，鎖定工藝壓力。MGCS?11 支持 7 組 PID 參數存儲，RS485 對接上位 PLC，適配自動化產線流程。
選型區分（GAR?I160B VS G?I160）
表格
| 項目 | GAR?I160B（電動伺服閘板） | G?I160（氣動伺服蝶閥） |
|---|---|---|
| 驅動 | DC24V 伺服電機直驅，?B 電磁抱閘 | 0.4?0.6MPa 壓縮空氣驅動，無電機 |
| 斷電 / 失氣狀態 | 斷電抱閘保持當前開度 | 失氣彈簧直接全關，開度丟失 |
| 結構 | 閘板式，全開閘板退出流道，極低發塵顆粒 | 蝶板式，蝶板滯留流道內 |
| 適用定位 | 半導體、面板量產 / 中試產線 | 鋰電、光伏、普通工業鍍膜設備 |
| 布線 | 需要 DC24V 供電 + 信號線纜 | 僅需壓縮空氣氣源 |
供貨與選型提示
供貨狀態：GAR?I160B 屬于中口徑特種伺服閥，國內現貨少，日本原廠訂貨；可提供原廠規格書、氦檢報告、CE 證書；支持 Kalrez 密封定制。
選型避坑：不可與開關閘閥 GH?I160 混淆；GH?I160 僅開關功能，無開度調節，無法實現閉環壓力控制。
提示：市場存在翻新二手閥，采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。
