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更新時間:2026-09-03
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定位:二維雙折射 / 殘余應力無損面測量設備廠商,自研光子晶體偏振成像傳感器;數秒輸出整片樣品應力云圖,面向半導體、光學、顯示行業;直接對標日本三鷹光器 Mitaka。
測量原理:偏振光非接觸無損檢測;輸出相位差(位相差 nm)、光軸角度 (°)、換算應力 (MPa),生成樣品全域雙折射 / 應力分布云圖;無需切片、不損傷工件。
軟件:WPA?View / PA?View;支持云圖、線剖面分析、區域統計、應力換算、數據導出、遠程控制
WPA?200:標準臺式,實驗室通用機型
WPA?200?L:大載臺,大尺寸基板、光學膜
WPA?200?XL:超大臺面,最大樣品約 500?mm
WPA?300 / WPA?300?L:新一代,偏振傳感器分辨率提升 5 倍,捕捉極微小應力變化,工業質控主力機型
PA?300:臺式主機,玻璃、晶圓、藍寶石、SiC 襯底
PA?micro:顯微鏡搭載微區測量;可配奧林巴斯 / 尼康顯微鏡,測芯片局部、微小光學元件,微米級區域應力觀測。
PA?300?NIR:近紅外版本(850?nm),測量可見光不透、紅外透光材料(LiDAR 元件、深色樹脂).。
PA?300?MT:分體式模塊,可集成到產線設備內部。
KAMAKIRI?X?Stage:離線臺式線掃描機型;算法與在線機型一致;產線導入前的入門驗證機型,大樣品離線抽檢;可后期升級為完整在線系統。
KAMAKIRI?MEM?LS:在線定點條帶掃描,采集薄膜幅寬局部區域,替代抽樣檢測。
KAMAKIRI?STS?LS:全幅寬連續在線檢測;整卷薄膜 100% 全覆蓋檢測,光學薄膜工廠量產主力機型。
CRYSTA 偏振高速相機:獨立偏振成像相機,可集成第三方設備;
NIR 選件:WPA?200?NIR,高應力紅外材料測量;
Rheo?Iris:與安東帕流變儀聯動,流變?偏振成像同步測量。
| 項目 | WPA 系列 | PA 系列 |
|---|---|---|
| 測量波長 | 三波長 523/543/575?nm | 單波長 520?nm(?NIR 為 850nm 近紅外) |
| 相位差量程 | 0?3500?nm(可選擴展 10000?nm) | 0?130?nm |
| 像素 | WPA?300 分辨率較 WPA?200 提升 5 倍 | 500 萬像素 |
| 樣品特征 | 高雙折射、厚樹脂、注塑件 | 低雙折射、玻璃、晶圓、硬質基材 |
| 代表型號 | WPA?300?L | PA?300?NIR、PA?micro |
| 對比項 | Photonic?Lattice | Mitaka 三鷹光器 |
|---|---|---|
| 核心技術 | 光子晶體偏振陣列傳感器 | 相位差調制旋轉檢偏器 |
| 測量速度 | 快,數秒完成全視場成像 | 中等 |
| 高相位差能力 | 優秀 (WPA 三波長,最高 10000nm) | 中等 |
| 微區測量 | PA?micro 接顯微鏡 | MLP 系列顯微模塊 |
| 在線產線方案 | 完整 KAMAKIRI 量產系列 | 以實驗室臺式為主,在線方案較少 |
| 軟件 | 全域云圖、應力換算、剖面分析 | 相位差、光軸角度測量 |
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