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PA?300 二維雙折射 / 殘余應(yīng)力測量系統(tǒng)Photonic?Lattice玉崎科學(xué)原裝供應(yīng)
更新時間：2026-09-07
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PA?300 二維雙折射 / 殘余應(yīng)力測量系統(tǒng)日本Photonic?Lattice玉崎科學(xué)原裝供應(yīng)
品牌：Photonic?Lattice（フォトニックラティス，日本）
PA?300 為 PA 系列標(biāo)準(zhǔn)臺式基礎(chǔ)機型；面向低相位差、微弱殘余應(yīng)力精密硬質(zhì)基材；搭載 500 萬像素光子晶體偏振成像傳感器，無旋轉(zhuǎn)運動部件；非接觸無損全域快照測量，3?10 秒輸出完整應(yīng)力云圖；衍生大載臺 PA?300?L、超大臺面 PA?300?XL、近紅外 PA?300?NIR、模塊化 PA?300?MT 型號。
核心原理
自研像素級光子晶體偏振陣列傳感器，單次曝光采集全部偏振信息；采用單波長 520?nm 綠光，針對 0?130?nm 微弱相位差信號優(yōu)化；輸出相位差 (nm)、光軸角度 (°)；選配數(shù)據(jù)處理選件，輸入材料光彈系數(shù)換算等效應(yīng)力 MPa。
關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 測量波長 | 520?nm 綠光（?NIR 版本為 850?nm 近紅外） |
| 相位差量程 | 0?130?nm；PA?300?NIR：0?213?nm |
| 傳感器像素 | 2056?×?2464（約 500 萬像素） |
| 標(biāo)準(zhǔn)鏡頭視場 | 30×36?mm ～100×133?mm；選配變焦鏡頭 5.5×6.6?mm～25×30?mm 微區(qū)觀測. |
| 重復(fù)精度 | 相位差 σ?1.0?nm |
| 測量時間 | 3?10?s / 全視場 |
| 輸出 | 相位差 (nm)、光軸角度 (°)；應(yīng)力 MPa（選配）... |
| 軟件 | PA?View；云圖、線剖面、ROI 統(tǒng)計、CSV 導(dǎo)出、遠程 API 接口 |
| 整機尺寸 (W×D×H) | 270?×?337?×?最大 631?mm |
| 整機重量 | 約 12?kg |
| 接口 | GigE；電源 AC100?240V 50?60Hz |
?主要特點
超高靈敏度捕捉微弱雙折射：500 萬像素，專門針對玻璃、晶圓等低應(yīng)力樣品，適合納米級殘余雙折射定量檢測；
快照式全視場成像，無需逐點掃描；無旋轉(zhuǎn)檢偏器，無機械磨損，抗振動、維護簡單；
支持變焦鏡頭，兼顧大面積全域檢測與局部微區(qū)應(yīng)力觀察；
軟件支持視場校正、實時分析、遠程 API，便于對接自動化流程；
不支持三波長，不適合高相位差樹脂塑膠樣品，高應(yīng)力樣品選用 WPA 系列。
??典型應(yīng)用樣品
?半導(dǎo)體：石英光掩模板、玻璃晶圓、藍寶石、SiC 碳化硅襯底；?光學(xué)玻璃：化學(xué)強化蓋板玻璃、退火玻璃、激光加工后玻璃殘余應(yīng)力評估；?精密光學(xué)元件：熔融石英窗口片、光學(xué)鏡片；?評估熱處理、強化工藝、激光加工引入的微弱殘余應(yīng)力分布。
??選型提示
中大尺寸樣品選用 PA?300?L；A3 幅面超大樣品選用 PA?300?XL；紅外透光材料選用 PA?300?NIR；設(shè)備集成選用 PA?300?MT；微區(qū)顯微測量選用 PA?micro。
相位差超過 130?nm 樹脂、注塑件，選用 WPA 系列。
??原廠可選配件
變焦鏡頭、應(yīng)力 MPa 數(shù)據(jù)處理選件、遮光罩、視場校正功能、遠程控制 API 接口、真空吸附樣品臺（?L/?XL 選配）
采購渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
品牌負責(zé)人：林經(jīng)理
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