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PA?micro 顯微型二維雙折射 / 殘余應力測量系統Photonic?Lattice玉科原裝
更新時間：2026-09-07
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PA?micro 顯微型二維雙折射 / 殘余應力測量系統
品牌：Photonic?Lattice（フォトニックラティス，日本）
PA?micro 屬于 PA 系列顯微微區專用機型，分為完整成套 PA?micro（含顯微鏡） 和機頭版 PA?micro?S（僅測量機頭，無顯微鏡）。將 500 萬像素光子晶體偏振成像單元搭載于科研級顯微鏡，實現微米級視場下低相位差、微弱殘余應力二維面測量；非接觸無損快照成像，3?10 秒輸出顯微視場相位差、光軸角度云圖；專門用于微小器件局部微區應力分析。
核心原理
沿用 PA 系列光子晶體像素級偏振陣列傳感器，無旋轉檢偏運動部件；單波長 520?nm 綠光，針對 0?130?nm 微弱相位差信號優化；直接安裝在顯微鏡三目接口，復用顯微鏡物鏡實現顯微放大；輸出相位差 (nm)、光軸角度 (°)；選配數據處理選件，輸入材料光彈系數換算等效應力 MPa。
區分：PA?micro 測低相位差微區；WPA?micro 為三波長版本，用于高相位差樹脂微區樣品。
關鍵技術參數
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 測量波長 | 520?nm 綠光 |
| 相位差量程 | 0?130?nm |
| 傳感器像素 | 2056?×?2464（約 500 萬像素） |
| 顯微鏡配置 | 可選奧林巴斯 / 尼康科研正置顯微鏡；物鏡倍率 ×2、×5、×10、×20、×50 |
| 顯微測量視場 | 142?×?170?μm ~ 3.5?×?4.2?mm（由物鏡倍率決定） |
| 重復精度 | 相位差 σ?1.0?nm；光軸角度 σ＜1°（相位差＞10?nm） |
| 測量時間 | 3?10?s / 單顯微視場 |
| 輸出 | 相位差 (nm)、光軸角度 (°)；應力 MPa（選配） |
| 軟件 | PA??View；顯微云圖、線剖面、ROI 統計、CSV 導出、遠程 API 接口 |
| 接口 | GigE；電源 AC100?240V 50?60Hz |
| 整機重量 | PA?micro 成套約 18?kg；PA?micro?S 機頭僅約 0.5?kg |
?主要特點
顯微微區面測量：把雙折射應力測量下沉至微米尺度，觀察器件局部位置應力集中，普通臺式 PA?300 無法達到該微觀視場；快照式全視場成像，不需要逐點掃描。
兩種供貨形態：
PA?micro：完整成套，含奧林巴斯 / 尼康顯微鏡整套；開箱即可使用。
PA?micro?S：僅偏振測量機頭，可對接用戶已有兼容顯微鏡，節省設備成本。
無運動光學部件，穩定性好，適合實驗室材料微觀機理研究。
?不支持變焦鏡頭、不支持三波長色散模式；僅適合低相位差樣品；高雙折射微區樣品選用 WPA?micro。
??典型應用樣品
?半導體：TGV 玻璃通孔側壁應力、芯片切割邊緣、微小晶圓局部、光掩模微區缺陷；?光學元件：微透鏡陣列、光纖端面、小型晶體元件；?玻璃：激光加工微孔、劃切邊緣局部殘余應力；?微小透明基材：觀察局部應力集中、加工損傷、鍵合界面微區應力分布。
??選型提示
大面積樣品宏觀檢測：PA?300 / PA?300?L；
需要微米局部微區：選 PA?micro；已有顯微鏡選 PA?micro?S 機頭；
微區樣品相位差高（樹脂類）：選用 WPA?micro；
量程上限 130?nm，超過量程樣品不適用。
??原廠可選配件
應力 MPa 數據處理選件、視場校正功能、遠程控制 API 接口、遮光罩；不支持變焦鏡頭、不支持三波長高位相差選件。
采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
