EBARA 荏原 EV?PA500 干式羅茨真空泵

EV?PA500：小型輕量化風冷無油干泵，單相寬電壓 100?230V，多級非接觸羅茨結構；定位實驗室、小型設備前級泵，SEMI?S2 合規，不需要冷卻水

型號釋義

• EV：EBARA Dry Pump 荏原干式泵系列

• PA：Compact Air?cooled 緊湊型風冷便攜機型

• 500：標稱抽速 500?L/min

核心規格參數

項目	EV?PA500
泵類型	多級非接觸羅茨無油干式真空泵
標稱抽速	500?L/min；氣鎮開啟：430?L/min
極限真空	0.5?Pa（氣鎮 OFF）；2.0?Pa（氣鎮 ON）
最大水蒸氣處理量	約 250?g/h（開啟氣鎮）
進氣口	NW25 KF 快裝
排氣口	NW25 KF 快裝
冷卻方式	強制風冷，無需冷卻水
供電	單相 AC100?230V，50/60Hz，電壓波動 ±10%
電源容量	0.66?kVA
極限真空運行功率	0.27?kW
噪音	58?dB(A)
外形 W×D×H	189 × 482 × 272?mm
整機重量	21?kg（非常輕便）
通訊與 IO	面板顯示；RS485 通訊；報警輸出；遠程啟停 I/O
標配	內置氣鎮閥、進氣過濾器；把手，可移動擺放
認證	CE、SEMI?S2、NRTL

主要特點

1. 整機無油、非接觸轉子，無碳氫返油，潔凈真空，適合半導體、光學腔體前級；轉子無接觸磨損，密封件免更換，長壽命EBARA CORP...。

2. 單相寬電壓，國內 220V 直接使用，不需要三相電；體積小重量輕，臺式擺放，實驗室友好。

3. 性能 50/60Hz 不受影響，24h 連續運行。

4. 自帶氣鎮閥，可處理少量水汽；不適合強腐蝕工藝氣體，可選氮氣吹掃選配。

5. 支持上位機 RS485 監控：運行狀態、故障報警；可接入設備 PLC。

典型應用

• 半導體：小型 Load?lock、晶圓檢測臺、等離子清洗、小型 PVD 鍍膜分子泵前級泵

• 科研真空腔體、SEM 電鏡配套、檢漏儀前級、真空脫泡、真空干燥

定位：前級粗抽泵，不能直接獲得高真空，必須搭配分子泵使用。