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玉科到貨：EBARA 荏原 EV?A10?3S五級(jí)羅茨風(fēng)冷干式無(wú)油真空泵
更新時(shí)間：2026-08-18
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到貨公告
各位客戶、合作伙伴：大家好！
我司新一批EBARA 荏原 EV?A10?3S五級(jí)羅茨風(fēng)冷干式無(wú)油真空泵 已完成入庫(kù)、檢驗(yàn)、上架工作，目前庫(kù)存充足，可正常接單、發(fā)貨。
EBARA 荏原 EV?A10?3S五級(jí)羅茨風(fēng)冷干式無(wú)油真空泵
EV?A10?3S：三相 AC200?240V，五級(jí)羅茨風(fēng)冷干式無(wú)油真空泵；同本體單相版本 EV?A10?2S。泵本體、抽速、真空、接口一致；僅電機(jī)供電規(guī)格不同；半導(dǎo)體 Load?lock、鍍膜、科研腔體預(yù)抽，風(fēng)冷免冷卻水。
型號(hào)后綴釋義
EV?A10：泵本體型號(hào)，5 級(jí)非接觸羅茨干式泵
3S = 3?Phase 三相 AC200?240V 50/60Hz
2S = 單相 AC200?240V
完整規(guī)格參數(shù)
| 項(xiàng)目 | EV?A10?3S |
|---|---|
| 泵結(jié)構(gòu) | 五級(jí)非接觸羅茨干式真空泵，無(wú)油 |
| 最大抽速 | 1000?L/min（60?m3/h） |
| 大氣壓抽速 | 800?L/min |
| 極限真空（氣鎮(zhèn) OFF） | 1.0?Pa |
| 極限真空（氣鎮(zhèn) ON） | 2.0?3.0?Pa |
| 最大水蒸氣處理量 | 500?g/h（氣鎮(zhèn)開(kāi)啟） |
| 進(jìn)氣接口 | NW40(KF40) |
| 排氣接口 | NW25(KF25) |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷，無(wú)需冷卻水 |
| 供電規(guī)格 | 三相 AC200?240V，50/60Hz，電壓允許 ±10% |
| 電源容量 | 3.0?kVA |
| 極限真空運(yùn)行功率 | 1.1?kW |
| 噪音 | ≤58?dB(A) |
| 外形 W×D×H | 317 × 544 × 344?mm |
| 整機(jī)重量 | 75?kg |
| 標(biāo)配 | 帶鎖腳輪 + 調(diào)平底座、內(nèi)置氣鎮(zhèn)閥、進(jìn)氣過(guò)濾器；遠(yuǎn)程 I/O 報(bào)警、啟停信號(hào) |
| 合規(guī) | CE、SEMI?S2、NRTL 認(rèn)證 |
EV?A10?3S VS EV?A10?2S 對(duì)比
| 項(xiàng)目 | EV?A10?3S（三相） | EV?A10?2S（單相） |
|---|---|---|
| 泵本體、性能、接口、真空 | 相同 | 相同 |
| 供電 | 三相 200?240V | 單相 200?240V |
| 適用場(chǎng)景 | 工廠產(chǎn)線、設(shè)備端具備三相供電，長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行，電網(wǎng)更穩(wěn)定 | 實(shí)驗(yàn)室、設(shè)備只有單相 220V 供電 |
三相 3S 版本工業(yè)產(chǎn)線更常用，長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行電流更平穩(wěn)；單相 2S 多用于實(shí)驗(yàn)室小設(shè)備。
核心特點(diǎn)
五級(jí)非接觸羅茨轉(zhuǎn)子，泵腔與齒輪潤(rùn)滑腔隔離；無(wú)油，無(wú)返油污染，適合潔凈腔體、Load?lock 預(yù)抽、分子泵前級(jí)泵。
風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，不用冷卻水，無(wú)漏水風(fēng)險(xiǎn)，無(wú)塵車間直接擺放。
自帶可開(kāi)關(guān)氣鎮(zhèn)閥，處理水汽、少量溶劑蒸汽；不直接處理強(qiáng)腐蝕工藝氣體，可選氮?dú)獯祾哌x配套件。
具備 PLC 遠(yuǎn)程 I/O 接口：運(yùn)行、故障報(bào)警、遠(yuǎn)程啟停，方便集成設(shè)備控制系統(tǒng)。
消耗件少：僅進(jìn)氣過(guò)濾器定期更換；齒輪油 20000 小時(shí)更換，轉(zhuǎn)子非接觸幾乎無(wú)磨損。
僅作為前級(jí)粗抽泵，極限 1Pa，不能直接實(shí)現(xiàn)高真空；需搭配分子泵獲得高真空。
典型應(yīng)用
可選配件
耐蝕氮?dú)獯祾咛准狠p微腐蝕性工藝氣體
排氣消音器、油霧捕集器
進(jìn)氣粉塵過(guò)濾器.
我司將持續(xù)保障貨源穩(wěn)定、供貨及時(shí)，竭誠(chéng)為大家提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)。
如需詢價(jià)、訂購(gòu)、索取產(chǎn)品資料及資質(zhì)文件，可隨時(shí)與我司對(duì)接人員聯(lián)系。
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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
2026年 08月18日
