EBARA 荏原 EV?A10?2S 五級羅茨干式真空泵

EV?A10?2S：單相 200?240V 風(fēng)冷無油干泵；定位：Load?lock 預(yù)抽、科研腔體、鍍膜、半導(dǎo)體中小型設(shè)備，不需要冷卻水，僅供電即可運行，擅長反復(fù)從大氣抽真空工況

核心規(guī)格參數(shù)

項目	EV?A10?2S 參數(shù)
泵類型	多級羅茨干式無油真空泵（5 級）
最大抽速	1000 L/min（60 m3/h）
大氣壓抽速	800 L/min
極限真空（氣鎮(zhèn)關(guān)閉）	1.0 Pa
極限真空（氣鎮(zhèn)開啟）	2.0?3.0 Pa
最大水蒸氣處理量	500 g/h（氣鎮(zhèn)開啟）
進(jìn)氣口	NW40(KF40)
排氣口	NW25(KF25)
冷卻方式	強制風(fēng)冷，無需冷卻水
供電	單相 AC200?240V，50/60Hz，允許波動 ±10%
電源容量	3.0 kVA
極限真空運行功率	1.1 kW
噪音	≤58 dB(A)
外形 W×D×H	317 × 544 × 344 mm
整機(jī)重量	75 kg
標(biāo)配	可鎖腳輪 + 調(diào)平底座、內(nèi)置氣鎮(zhèn)閥、進(jìn)氣過濾器
認(rèn)證	CE、NRTL、SEMI?S2 合規(guī)

結(jié)構(gòu)與關(guān)鍵特點

1. 五級非接觸羅茨轉(zhuǎn)子，泵腔與齒輪潤滑腔隔離；無油，無返油污染，適合潔凈腔體、光學(xué)、半導(dǎo)體 Load?Lock 預(yù)抽。

2. 風(fēng)冷設(shè)計，不用水冷，無塵車間、實驗室可以直接擺放，沒有漏水風(fēng)險。

3. 50Hz/60Hz 抽速性能一致，內(nèi)置變頻驅(qū)動，低功耗、啟停平穩(wěn)。

4. 自帶可開關(guān)氣鎮(zhèn)閥，可處理水汽，適合溶劑、含水工藝；不適合強腐蝕工藝氣體（可選吹掃選配）。

5. 電氣接口：具備報警輸出、遠(yuǎn)程啟停 I/O 信號，方便接入設(shè)備 PLC 控制系統(tǒng)。

6. 消耗件：僅進(jìn)氣過濾器，轉(zhuǎn)子非接觸幾乎無磨損，長周期免維護(hù)。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體設(shè)備：Load?lock 腔體預(yù)抽、等離子清洗、小型 PVD 鍍膜機(jī)粗抽

• 科研真空腔體、光學(xué)實驗、真空干燥

• 鋰電：真空脫氣、注液腔體預(yù)抽

• 頻繁破真空、反復(fù)大氣抽氣工況（對比渦旋泵抽大氣效率優(yōu)勢明顯）

??注意：本泵只到 1Pa 級別，屬于粗抽 / 預(yù)抽泵，不能做高真空主泵；需要搭配分子泵獲得高真空。

選配選項

1. 耐蝕氮氣吹掃套件：處理輕微腐蝕性氣體

2. 排氣油霧捕集器

3. 專用進(jìn)氣過濾器（粉塵顆粒工況）