當(dāng)前位置：
Photonic?Lattice二維雙折射 / 殘余應(yīng)力分布測(cè)量系統(tǒng) PA 系列詳情
更新時(shí)間：2026-09-03
點(diǎn)擊次數(shù)：32
PA 系列｜低相位差?超高精度
定位：面向低雙折射、低相位差精密硬質(zhì)基材；單波長(zhǎng) 520?nm，量程0?130?nm；500 萬像素 (2056×2464)光子晶體偏振成像傳感器；非接觸無損全域面測(cè)量，3?10 秒輸出完整應(yīng)力云圖；對(duì)標(biāo)三鷹光器 Mitaka 低相位差機(jī)型。?注意：PA 系列不適合高相位差樹脂、厚塑膠，高應(yīng)力樣品請(qǐng)選用 WPA 系列。
?核心技術(shù)原理
硬件基礎(chǔ)：自研光子晶體偏振成像陣列傳感器，無旋轉(zhuǎn)檢偏器等運(yùn)動(dòng)部件，無機(jī)械磨損；全部偏振信息一幀同步采集，無機(jī)械掃描延遲、無振動(dòng)引入誤差。
單波長(zhǎng) 520?nm 綠光測(cè)量技術(shù)，專為0?130nm 微弱相位差信號(hào)優(yōu)化，捕捉玻璃、晶圓極微小殘余雙折射；
輸出物理量：相位差 (nm)、光軸角度 (°)；選配數(shù)據(jù)處理選件，輸入材料光彈系數(shù)后換算等效應(yīng)力 (MPa)。
測(cè)量速度：3?10?s 完成一整個(gè)視場(chǎng)二維面成像；輸出應(yīng)力云圖、線剖面曲線、ROI 區(qū)域統(tǒng)計(jì)、CSV 數(shù)據(jù)導(dǎo)出。
??全系列型號(hào)詳解
PA?300（標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)式主機(jī)）
定位：實(shí)驗(yàn)室通用臺(tái)式，玻璃、石英、晶圓、光學(xué)鏡片研發(fā)與 QC；
標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng)：約 37×44?mm ~ 100×133?mm；選配變焦鏡頭縮小至 5.5×6.6?mm 微區(qū)觀測(cè)；
傳感器像素：2056×2464（約 500 萬像素）；
重復(fù)精度：相位差 σ?1.0?nm；
本體重量約 23?kg；電源 AC100?240V 50/60Hz；
衍生子型號(hào)：
PA?300?L：大載臺(tái)版本，適配大尺寸基板，可選真空吸附樣品臺(tái)；
PA?300?XL：超大臺(tái)面，最大 A3 尺寸樣品，可直接測(cè)量 12 英寸晶圓、車載大尺寸蓋板玻璃。
PA?micro（顯微搭載微區(qū)測(cè)量機(jī)型）
對(duì)接奧林巴斯 / 尼康科研級(jí)顯微鏡；把光子晶體偏振傳感器集成到顯微鏡光路；
實(shí)現(xiàn)微米級(jí)微小區(qū)域雙折射 / 應(yīng)力測(cè)量；觀察芯片局部、微小光學(xué)元件、TGV 玻璃通孔側(cè)壁應(yīng)力、鍵合界面微區(qū)應(yīng)力；
量程同樣 0?130?nm，500 萬像素；適合局部缺陷、微小器件分析。
PA?300?NIR（近紅外版本，850?nm 波長(zhǎng)）
可見光不透明、紅外透光材料專用；量程擴(kuò)展至0?213?nm
測(cè)量波長(zhǎng)：850?nm 近紅外；
典型樣品：LiDAR 紅外光學(xué)元件、硫系玻璃、深色紅外透光基材；
硬件結(jié)構(gòu)、軟件 PA?View、像素與 PA?300 保持一致。
PA?300?MT（模塊化分體單元）
光源?傳感頭與樣品臺(tái)分離；支持集成到第三方設(shè)備、工裝設(shè)備，用于半產(chǎn)線離線自動(dòng)化檢測(cè)；對(duì)外 GigE 通訊，提供外部控制 API 接口。
??PA 系列通用核心參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 520?nm（?NIR 版本為 850?nm 近紅外） |
| 相位差量程 | 0?130?nm；PA?300?NIR：0?213?nm |
| 傳感器像素 | 2056 × 2464（約 500 萬像素） |
| 輸出 | 相位差 (nm)、光軸角度 (°)；應(yīng)力 MPa（選配數(shù)據(jù)處理功能） |
| 測(cè)量時(shí)間 | 3?10?s / 全視場(chǎng) |
| 通訊接口 | GigE |
| 配套軟件 | PA?View；云圖顯示、線剖面、ROI 區(qū)域統(tǒng)計(jì)、視場(chǎng)校正、遠(yuǎn)程 API、CSV 導(dǎo)出 |
| 電源 | AC100?240V 50?60Hz |
??典型適用樣品
?不適用：COP、PC 等高雙折射樹脂、厚注塑件；這類樣品相位差經(jīng)常超過 130?nm，必須選用 WPA 系列。
??原廠可選配件清單
變焦鏡頭：縮小視場(chǎng)局部微區(qū)觀測(cè)；
數(shù)據(jù)處理選件：應(yīng)力 MPa 換算（需要輸入材料光彈系數(shù)）；
真空吸附樣品臺(tái)（PA?300?L/?XL 常用，防止大基板翹曲）；
遮光罩：屏蔽環(huán)境雜光干擾；
外部控制 API 接口，對(duì)接上位機(jī) / LIMS/MES 系統(tǒng)；
顯微鏡整機(jī)套件（PA?micro：奧林巴斯 / 尼康顯微鏡本體）。
??PA 系列 vs WPA 系列選型對(duì)照表
| 對(duì)比項(xiàng) | PA 系列（低相位差） | WPA 系列（大位相差） |
|---|---|---|
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 單波長(zhǎng) 520?nm（NIR：850?nm） | 三波長(zhǎng) 523/543/575?nm |
| 相位差量程 | 0?130?nm（?NIR：0?213?nm） | 0?3500?nm，選件最高 10000?nm |
| 像素 | 500 萬像素 | WPA?200：11 萬；WPA?300 提升 5 倍 |
| 典型樣品 | 玻璃、晶圓、藍(lán)寶石、SiC、石英 | COP、PC 樹脂、注塑件、導(dǎo)光板、光學(xué)膜 |
| 核心訴求 | 微弱殘余應(yīng)力精密定量 | 高雙折射高分子材料應(yīng)力分布 |
Photonic?Lattice供貨采購(gòu)渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號(hào)電商集團(tuán)7樓整層玉崎科學(xué)
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理
